經(jīng)過(guò)兩步擴(kuò)散之后的雜質(zhì)最終分布形式,將由具體工藝條件決定,為兩個(gè)擴(kuò)散過(guò)程結(jié)果的累加。MAX3042BCWE如果用下標(biāo)“1Ⅱ表示與預(yù)擴(kuò)散有關(guān)的參數(shù),“2”表示與主擴(kuò)散有關(guān)的參數(shù)。當(dāng)D]rl》D2∠2時(shí),在這種

情況下,預(yù)擴(kuò)散起決定作用,雜質(zhì)基本上按余誤差函數(shù)形式分布;當(dāng)D1r1《D2r2時(shí),此種情況下主擴(kuò)散起決定作用,雜質(zhì)基本上按高斯函數(shù)形式分布。

   實(shí)際的擴(kuò)散情況比較復(fù)雜,在恒定表面源擴(kuò)散中假定硅表面雜質(zhì)濃度一直為擴(kuò)散溫度下的固溶度,實(shí)質(zhì)上這是難以實(shí)現(xiàn)的。而限定表面源擴(kuò)散硅表面的雜質(zhì)總量也由于外擴(kuò)散現(xiàn)象會(huì)有所減少。因此。實(shí)際擴(kuò)散不一定嚴(yán)格遵從某種形式的擴(kuò)散,而是往往較接近于某種分布,可在足夠精確的程度上采用某一種分布來(lái)近似分析。

   對(duì)于確定的摻雜雜質(zhì),對(duì)擴(kuò)散結(jié)深影響最大的因素是擴(kuò)散溫度和擴(kuò)散時(shí)間,特別是擴(kuò)散溫度,靈敏地影響雜質(zhì)的擴(kuò)散系數(shù)。因此,在擴(kuò)散過(guò)程中爐溫的控制非常重要,通常要求爐溫的偏差不大于土0、5℃。特別指出,本節(jié)所討論的雜質(zhì)擴(kuò)散的典型分布僅適用于較低雜質(zhì)濃度情況,對(duì)于高濃度的雜質(zhì)擴(kuò)散分布情況更為復(fù)雜,此處不再詳細(xì)討論。