保證在檢測透鏡的焦深范圍內(nèi)時，y與x呈線性關(guān)系。由式( 11.16)可知，N80C186XL12如果我們設(shè)法探測到反射光點的位置變化y，則工件表面輪廓高度的變化量x就可得到。若在檢測平面放置一個直徑為3 mm呈對半形分布的接收光纖束，該光纖束的兩個分支經(jīng)光纖耦合連接頭分別接到兩個光電二極管上，這兩個光電二極管的輸出端分別接到一個高阻抗型差分放大器的同相輸入端和反相輸入端。其后接低通濾波器，輸出一個正比于工件表面輪廓高度變化的電壓值，再經(jīng)一個12位A/D變換器，由計算機采集并處理各種數(shù)據(jù)，最后得到工件的表面粗糙度值。

   采用光點變位法在線測量表面粗糙度的優(yōu)點是測量的精度較高，其缺點主要有儀器結(jié)構(gòu)復(fù)雜，儀器調(diào)整木方便，測量范圍較小，并且測量速度也較慢。

   臨界角法就是把照射在被測表面上的光的焦點位置測量出來，從而檢測表面粗糙度。當被測表面位于物鏡的焦點B處時，通過物鏡l后變?yōu)槠?/span>行光，再經(jīng)直角棱鏡2反射到兩個光敏檢測器D和E中。設(shè)棱鏡的斜面與平行光軸的光束所夾的角為全反射臨界角，那么射入到光敏檢測器E和D的光強就相等。

   當被測表面靠近物鏡位置A處時，光經(jīng)物鏡1后變?yōu)榘l(fā)散光。這時，位于光軸上方的光相對棱鏡斜面所夾的角比臨界角小，所以部分光束向棱鏡外散出（虛線箭 頭），這樣不能全反射到光敏探測器D中，位于光軸下方的光相對棱鏡斜面所夾的角比臨界角大，所以反射光全能反射到光敏探測器E中。