尖峰退火
發(fā)布時間:2017/11/10 22:30:57 訪問次數(shù):5519
如圖10.12所示,尖峰退火是浸入式退火的一種極致。在尖峰退火過程中,晶圓以 OP177GS極快的升溫速度(最快可達(dá)近250°/s)升高到設(shè)定的溫度后,叉以較快的降溫速度(最快可達(dá)近90°/s)將其冷卻到600℃以下。尖峰退火的設(shè)備跟普通浸人式退火的設(shè)備基本一樣,但是為r達(dá)到快速升降溫的日的,在I藝和設(shè)備上還是有些特殊的要求,比如說,為F達(dá)到快速升溫的要求,需要大功率的燈泡,溫度實時控制的頻率也會有所提高;另外,為了達(dá)到快速降溫的目的,就需要用大流董的氮氣甚至氦氣來提高熱交換的速率。尖峰退火主要應(yīng)用在0,13um以下的CMOs器件制造工藝中,位于輕摻雜漏和源漏極離子注人之后,在形成超淺結(jié)的同時,修復(fù)離子注人造成的晶格損傷和缺陷。
如圖10.12所示,尖峰退火是浸入式退火的一種極致。在尖峰退火過程中,晶圓以 OP177GS極快的升溫速度(最快可達(dá)近250°/s)升高到設(shè)定的溫度后,叉以較快的降溫速度(最快可達(dá)近90°/s)將其冷卻到600℃以下。尖峰退火的設(shè)備跟普通浸人式退火的設(shè)備基本一樣,但是為r達(dá)到快速升降溫的日的,在I藝和設(shè)備上還是有些特殊的要求,比如說,為F達(dá)到快速升溫的要求,需要大功率的燈泡,溫度實時控制的頻率也會有所提高;另外,為了達(dá)到快速降溫的目的,就需要用大流董的氮氣甚至氦氣來提高熱交換的速率。尖峰退火主要應(yīng)用在0,13um以下的CMOs器件制造工藝中,位于輕摻雜漏和源漏極離子注人之后,在形成超淺結(jié)的同時,修復(fù)離子注人造成的晶格損傷和缺陷。
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