yield leaming vchiclc與普通產(chǎn)品不同的地方在于,產(chǎn)品是design ft,r function,而yieldlcamillg vehicle是dcsign for(capturc)fad。它必須能模擬實際各種版圖特征,可能有數(shù)千種版圖設計組合。這對”eld learning vehiclc的設計帶來極大的挑戰(zhàn)。SG2525AN

   表17,2列舉了部分常見的設計和I藝交互   表17.2常見的設計和工藝交互的的systematic失效。

   yield lcarning的第二個要素是測試。測試有=個主要方面的考慮:測試時問,測試質量和可靠性。

   如前所述,先進制程的yield lcarning vehicle由于缺陷觀測能力的要求,復雜度需要和實際產(chǎn)品相當或更有甚之,每wafer的總DUT數(shù)在百萬量級。若采用常規(guī)的串行測試,即便每DUT測試時問在O,1s,每wafer也需要幾天,一個lot需要幾周甚至幾個月,這對于yield learning是無法接受的�？焖�,多通道的并行測試成為必要條件。