典型的版圖相關(guān)的litho printing issvc
發(fā)布時(shí)間:2017/11/20 19:59:43 訪問次數(shù):543
同樣的概念不僅是Via1,也適用于其余的AA,ly,C°ntact,Metal等其余I藝層。對(duì)于yieldlearning vehicle的要求是,在一套光罩的情況下,各置藝層的微結(jié)構(gòu)數(shù)都要達(dá)到甚至超過實(shí)際產(chǎn)品,同時(shí)還必須兼容shord∞p試驗(yàn)。 SFH6156-4T
由于systematic失效往往在不同的產(chǎn)品上有不同的表現(xiàn),靠單一邏輯或者M(jìn)cm。ry產(chǎn)品很難完全覆蓋各種不同的版圖設(shè)計(jì),yiCld learning第二個(gè)要素是對(duì)于設(shè)計(jì)和工藝交互的systematic失效有全面 的表征能力。
圖17.21所示是一個(gè)典型的設(shè)計(jì)和△藝交互的問題,傳統(tǒng)的用一兩種邏輯或者Memory產(chǎn)品作為yield lear血ng vchicle,可能無法捕捉到這樣的問題。
同樣的概念不僅是Via1,也適用于其余的AA,ly,C°ntact,Metal等其余I藝層。對(duì)于yieldlearning vehicle的要求是,在一套光罩的情況下,各置藝層的微結(jié)構(gòu)數(shù)都要達(dá)到甚至超過實(shí)際產(chǎn)品,同時(shí)還必須兼容shord∞p試驗(yàn)。 SFH6156-4T
由于systematic失效往往在不同的產(chǎn)品上有不同的表現(xiàn),靠單一邏輯或者M(jìn)cm。ry產(chǎn)品很難完全覆蓋各種不同的版圖設(shè)計(jì),yiCld learning第二個(gè)要素是對(duì)于設(shè)計(jì)和工藝交互的systematic失效有全面 的表征能力。
圖17.21所示是一個(gè)典型的設(shè)計(jì)和△藝交互的問題,傳統(tǒng)的用一兩種邏輯或者Memory產(chǎn)品作為yield lear血ng vchicle,可能無法捕捉到這樣的問題。
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