表面向外的一側(cè)沒有近鄰原子,農(nóng)面原子有一部分化學(xué)鍵伸向空閘形成懸掛件,因此,SFH6156-4T表面具有很活躍的化學(xué)性質(zhì)。曲于表面原F吸附、沾污和偏析,表面原子種類L9體內(nèi)不同。曲于表面原子所處的環(huán)境與體內(nèi)不同,所以表畫原f的排列結(jié)構(gòu)也與體內(nèi)不同。這些不同使表面具有某些特殊的物理和化學(xué)性質(zhì):因此,F0l體表面和體內(nèi)的物理、化學(xué)性質(zhì)往往不同。在半導(dǎo)體材料、器件和r藝流程巾存在入暈的表面和丨界面問題,隨著集成電路向深亞微米發(fā)展.還要求檢測和控制化學(xué)成分的橫向分布。囚此.開展半導(dǎo)體表面、界面和薄膜的研究對提高和控制材料質(zhì)量,改進器件性能和提高器件的成甜l率都有秉要的意義。

    表面信息是通過各種表面分析技術(shù)來獲得的.表i面分析技術(shù)匚發(fā)展有許多不同的種類,足建立在超高真空電f離子光學(xué)微弱信號檢測汁算機技術(shù)箐基礎(chǔ)卜的一閘綜合性技術(shù)如圖14.29所示。它們的共同特點是用-種Ⅱ人射束”作為探針來探測樣品表面,Ⅱ人射束”可

以是電f、離F、光子、屮性粒子、電場、磁場和聲波等,在探針的作用下.從樣品表面可以發(fā)射或散射出各種不同的粒子,如電f、離丫、光子和性粒F竿。通過檢測這些粒的能董、動量、荷質(zhì)比、粒子流強度等rll以獲得勹表面有關(guān)的信息,各種方法各有優(yōu)缺點,一般根據(jù)不鬧的檢測要求.采用不同的分析方法或川兒種方法對樣品進行分析,綜合所測的結(jié)果得出結(jié)淪:表面分析技術(shù)主要用來研究和分析固體表面的形貌、化學(xué)成分、化學(xué)鍵合、原子結(jié)構(gòu)、原子態(tài)和電子態(tài)等。表面和薄膜的成分分析包括測定半導(dǎo)體表面的元素組分、表面元素的化學(xué)態(tài)及元素在表層的分布(包括橫向分布和縱向分布)。