集束型晶圓制造裝備的建膜方法
發(fā)布時間:2017/11/27 21:29:02 訪問次數(shù):334
如前所述,集束型裝備所具有的若干復(fù)雜性使得其建模非常困難。然而,由R05107ANP-011于集束型裝備是以事件為驅(qū)動的、內(nèi)部存在大量同步與異步操作,以及資源爭奪與共享的復(fù)雜生產(chǎn)系統(tǒng),故可被描述為一個復(fù)雜的離散事件動態(tài)系統(tǒng)。從離散事件動態(tài)系統(tǒng)理論的角度出發(fā),制造系統(tǒng)可以用狀態(tài)、事件(生產(chǎn)活動)及它們之間的關(guān)系來描述。為了設(shè)計有效的集束型裝備調(diào)度方法,首先需要建立合理的集束型裝備模型。模型是對系統(tǒng)的抽象描述和刻畫,建模是對系統(tǒng)進行分析和決策的重要手段和前提。具體的說,可以利用建立的集束型裝備模型,對其采取一定的分析方法,揭示集束型裝備的內(nèi)在運行變化過程和機理,確定系統(tǒng)運行中各種因素對集束型裝備運行性能的影響,進而為設(shè)計有效的集束型裝備調(diào)度方法奠定基礎(chǔ)。同時,借助集束型裝各模型,可以對集束型裝備調(diào)度方法的性能進行快速、有效的評價,以驗證調(diào)度方法的有效性。
目前,用于制造系統(tǒng)的離散事件動態(tài)系統(tǒng)建模方法主要有基于馬爾科夫模型、數(shù)學(xué)規(guī)劃模型、時序圖模型、Pe“i網(wǎng)模型及仿真模型等。
如前所述,集束型裝備所具有的若干復(fù)雜性使得其建模非常困難。然而,由R05107ANP-011于集束型裝備是以事件為驅(qū)動的、內(nèi)部存在大量同步與異步操作,以及資源爭奪與共享的復(fù)雜生產(chǎn)系統(tǒng),故可被描述為一個復(fù)雜的離散事件動態(tài)系統(tǒng)。從離散事件動態(tài)系統(tǒng)理論的角度出發(fā),制造系統(tǒng)可以用狀態(tài)、事件(生產(chǎn)活動)及它們之間的關(guān)系來描述。為了設(shè)計有效的集束型裝備調(diào)度方法,首先需要建立合理的集束型裝備模型。模型是對系統(tǒng)的抽象描述和刻畫,建模是對系統(tǒng)進行分析和決策的重要手段和前提。具體的說,可以利用建立的集束型裝備模型,對其采取一定的分析方法,揭示集束型裝備的內(nèi)在運行變化過程和機理,確定系統(tǒng)運行中各種因素對集束型裝備運行性能的影響,進而為設(shè)計有效的集束型裝備調(diào)度方法奠定基礎(chǔ)。同時,借助集束型裝各模型,可以對集束型裝備調(diào)度方法的性能進行快速、有效的評價,以驗證調(diào)度方法的有效性。
目前,用于制造系統(tǒng)的離散事件動態(tài)系統(tǒng)建模方法主要有基于馬爾科夫模型、數(shù)學(xué)規(guī)劃模型、時序圖模型、Pe“i網(wǎng)模型及仿真模型等。
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