(l)加工模塊之間任何存儲(chǔ)設(shè)施,機(jī)械手必須運(yùn)輸走前一個(gè)晶圓后才能裝載下一個(gè)晶圓,NCP1271D65R2G加工模塊為單晶圓加工設(shè)備,每次僅能加工一片晶圓。

   (2)晶圓在加工模塊的停留時(shí)間要滿足滯留時(shí)間約束。

   (3)物料運(yùn)輸模塊為雙臂機(jī)械手,兩機(jī)械手不能同時(shí)活動(dòng)。

   (4)一個(gè)生產(chǎn)周期內(nèi)一種類型的晶圓只有一個(gè)進(jìn)入。

   注意在假設(shè)(3)中的雙臂機(jī)械手與單臂機(jī)械手不同之處:雙臂機(jī)械手的一個(gè)臂拿起了一個(gè)晶圓之后,另一個(gè)機(jī)械臂仍然可以去搬運(yùn)其他晶圓,那么在某一時(shí)刻就會(huì)出現(xiàn)機(jī)械手的兩只手臂都有晶圓的情況。對(duì)于一個(gè)雙臂機(jī)械手來(lái)說(shuō),它的兩個(gè)機(jī)械臂不能同時(shí)進(jìn)行裝載或者卸載晶圓的動(dòng)作。當(dāng)一個(gè)機(jī)械臂在進(jìn)行裝載或者卸載的動(dòng)作時(shí),另一個(gè)機(jī)械臂必須等待,而且這兩個(gè)機(jī)械臂呈180°角放置,它們之間的角度不能改變。

    調(diào)度問(wèn)題描述

    集束型裝備由若干晶圓加工模塊、雙臂機(jī)械手和輸人/輸出裝載室組成。R個(gè)不同類型的晶圓編號(hào)為1,2,…,R,依照配方首先從輸入裝載室進(jìn)入,激光定位后依次通過(guò)加工模塊1,2,…,Ⅳ的加工,最后從輸出裝載室冷卻離開(kāi)系統(tǒng)。

   生產(chǎn)管理采用批量加工的周期性生產(chǎn)方式,在系統(tǒng)達(dá)到穩(wěn)態(tài)后,每個(gè)周期內(nèi)有一批次(lot)R個(gè)不同類型晶圓進(jìn)入系統(tǒng),同時(shí)有另外―個(gè)批次晶圓完成加工離開(kāi)生產(chǎn)系統(tǒng),并且機(jī)械手在每個(gè)周期內(nèi)執(zhí)行固定的機(jī)械手搬運(yùn)作業(yè)和加工模塊加工作業(yè)。根據(jù)上述描述可知,相鄰兩個(gè)批次晶圓進(jìn)入系統(tǒng)的時(shí)間間隔即為生產(chǎn)周期或基本周期或生產(chǎn)節(jié)拍。這類混流調(diào)度問(wèn)題以最大化產(chǎn)能,即最小化生產(chǎn)周期為目標(biāo),目的是滿足滯留時(shí)間約束的前提下,確定一個(gè)生產(chǎn)周期內(nèi)多種類型晶圓的生產(chǎn)順序和優(yōu)化機(jī)械手搬運(yùn)作業(yè)順序。