作為電源線的第四金屬互連層
發(fā)布時(shí)間:2019/5/1 15:25:03 訪問次數(shù):718
1)作為電源線的第四金屬互連層。由于光是從另一面入射,電源線可以加工得很厚和很寬以防止電壓降。
2)其余的三層金屬互連層,作為像素正面的互連金屬。
3)被減薄到幾個(gè)微米厚的硅襯底。
4)用于防止在光射入兩個(gè)彩色濾光片之間的金屬柵格。
5)彩色濾波器陣列,肉眼幾乎不可見,圖中顯示了兩個(gè)不同的層,紅色層和綠色層,或藍(lán)色層和綠色層。
6)最頂部是微透鏡陣列。在背照式傳感器的頂部看到微透鏡陣列可能有些令人意外,但微透鏡具有雙重功能:聚焦偏離金屬柵格區(qū)域的光線和聚焦像素中的光線以限制串?dāng)_。
圖710 背照式的CMOS傳感器的掃描電子顯微鏡截面圖(此圖由IEEE授權(quán))
1)作為電源線的第四金屬互連層。由于光是從另一面入射,電源線可以加工得很厚和很寬以防止電壓降。
2)其余的三層金屬互連層,作為像素正面的互連金屬。
3)被減薄到幾個(gè)微米厚的硅襯底。
4)用于防止在光射入兩個(gè)彩色濾光片之間的金屬柵格。
5)彩色濾波器陣列,肉眼幾乎不可見,圖中顯示了兩個(gè)不同的層,紅色層和綠色層,或藍(lán)色層和綠色層。
6)最頂部是微透鏡陣列。在背照式傳感器的頂部看到微透鏡陣列可能有些令人意外,但微透鏡具有雙重功能:聚焦偏離金屬柵格區(qū)域的光線和聚焦像素中的光線以限制串?dāng)_。
圖710 背照式的CMOS傳感器的掃描電子顯微鏡截面圖(此圖由IEEE授權(quán))
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