單粒子效應(yīng)的物理概念

   1)注量率M25P40-VNW6PBA

   注量率為單位時(shí)間內(nèi)單位面積入射入器件的粒子數(shù),單位為粒子數(shù)每平方厘米秒(粒子數(shù)/cm2・s)。

   2)LET與有效LET

   LET(Lhcar Ellergy Trallsfcr,線性能量傳輸)的物理含義為單位密度單位長(zhǎng)度上沉積的 能量,也可以表示每單位軌跡長(zhǎng)度上沉積的電荷數(shù),單位為MeV・cm2/mg。有效LET為粒子傾角入射時(shí)等效于表面法線方向上單位密度單位長(zhǎng)度上沉積的能量,通常用LE飛f表示,定義如下:,溈入射角度(與表面法線方向的夾角),LET‘為以汐角入射的離子的LET值。LET是能量的函數(shù),隨著能量的增加,LET值增加,然后達(dá)到極大值,接著隨能量的增加緩慢的下降。在高能區(qū),LET值是能量的不靈敏函數(shù),隨能量改變的比較緩慢。圖3-15所示為鍺(Gc)離子入射入硅(si)材料中,能量與LET的關(guān)系曲線圖。