濕度傳感器法

   通過(guò)測(cè)量己校準(zhǔn)的濕度傳感器或集成電路芯片響應(yīng)的方法來(lái)測(cè)定器件內(nèi)部的水汽含量的。E13003其工作原理是預(yù)先將濕度傳感器或集成電路芯片的敏感參數(shù)與程序1中的質(zhì)譜儀所測(cè)試的水汽含量建立一一對(duì)照的關(guān)系,然后將其密封在器件封殼內(nèi),并與封裝外部的引線端相連接,通過(guò)測(cè)試濕度傳感器或集成電路芯片的敏感參數(shù),即可了解器件內(nèi)的水汽含量情況。

   試驗(yàn)設(shè)各

   (l)濕度傳感器和能檢測(cè)出含量為0,Os%±0.005%(3oOppm±5Oppm)的水汽含量的讀出儀器。傳感器安裝在密封器件內(nèi)部。

   (2)被測(cè)試器件上的金屬走線,它們與器件之間用反向偏置二極管隔離,當(dāng)被連接作為橋式網(wǎng)絡(luò)一部分時(shí),可檢測(cè)出腔內(nèi)0,2%(2O0Oppm)的水汽含量。芯片應(yīng)以某種方法制冷,使芯片表面為腔內(nèi)最冷點(diǎn)。器件先被制冷到露點(diǎn)以下,然后加熱到室溫,構(gòu)成一個(gè)完整的試驗(yàn)周期。