超聲波的接收超聲波的接收器是利用超聲波發(fā)生器的逆效應(yīng)進(jìn)行工作的。A4CA4.5Z當(dāng)超聲波作用到電晶體片上時(shí)，使晶片伸縮，則在晶片的兩個(gè)面上產(chǎn)生交變電荷。這種電荷被轉(zhuǎn)換成電壓，經(jīng)過(guò)放大后送到測(cè)量電路，最后記錄或顯示出結(jié)果。它的結(jié)構(gòu)和超聲波發(fā)生器基本相同，其原理如圖4-4所示。

   圖4-4超聲波發(fā)生器和接收器原理

  聲表面波的結(jié)構(gòu)和工作原理聲表面波(SAW)傳感器的關(guān)鍵部件是SAW振蕩器，振蕩器是由聲表面波諧振器( SAWR)或聲表面波延遲線與放大器以及匹配網(wǎng)絡(luò)組成，SAWR是用叉指換能器及金屬式反射器構(gòu)成，如圖4-5所示。叉指換能器及反射器是用半導(dǎo)體集成工藝將金屬鋁淀積在壓電基底材料上，再用光刻技將金屬薄膜刻成一定尺寸形狀的特殊結(jié)構(gòu)。由SAWR組成的振蕩器結(jié)構(gòu)原理圖，如圖4-6所示。