莫爾條紋測長原理
發(fā)布時(shí)間:2015/5/10 21:14:16 訪問次數(shù):3639
從莫爾條紋分析中已經(jīng)看到,AT24C02D-SSHM-T若兩條光柵互相重疊成一夾角,就形成了莫爾條紋。當(dāng)長光柵固定,指示光柵相對(duì)移動(dòng)一個(gè)節(jié)距,莫爾條紋就變化一個(gè)周期。一般情況下指示光柵與工作臺(tái)固定在一起。工作臺(tái)前后移動(dòng)的距離由指示光柵和長光柵形成的莫爾條紋進(jìn)行計(jì)數(shù)得到。工作臺(tái)移動(dòng)進(jìn)行長度測量時(shí),指示光柵移動(dòng)的距離為戈:
P是光柵節(jié)距;Ⅳ是指示光柵移動(dòng)距離中包含的光柵線對(duì)數(shù);艿是小于1個(gè)光柵節(jié)距的小數(shù)部分。
在莫爾條紋測長儀中,最簡單的形式是對(duì)指示光柵移過的光柵線對(duì)數(shù)Ⅳ進(jìn)行直接計(jì)數(shù)。但實(shí)際系統(tǒng)并不單純計(jì)數(shù),而是利用電子細(xì)分方法將莫爾條紋的一個(gè)周期細(xì)分,于是可讀出小數(shù)部分,使系統(tǒng)的分辨能力提高。目前電子細(xì)分可分到幾十到分之一。如果單純從光柵方面去提高分辨率,光柵節(jié)距再做小幾十倍,工藝上是難以達(dá)到的。
從莫爾條紋分析中已經(jīng)看到,AT24C02D-SSHM-T若兩條光柵互相重疊成一夾角,就形成了莫爾條紋。當(dāng)長光柵固定,指示光柵相對(duì)移動(dòng)一個(gè)節(jié)距,莫爾條紋就變化一個(gè)周期。一般情況下指示光柵與工作臺(tái)固定在一起。工作臺(tái)前后移動(dòng)的距離由指示光柵和長光柵形成的莫爾條紋進(jìn)行計(jì)數(shù)得到。工作臺(tái)移動(dòng)進(jìn)行長度測量時(shí),指示光柵移動(dòng)的距離為戈:
P是光柵節(jié)距;Ⅳ是指示光柵移動(dòng)距離中包含的光柵線對(duì)數(shù);艿是小于1個(gè)光柵節(jié)距的小數(shù)部分。
在莫爾條紋測長儀中,最簡單的形式是對(duì)指示光柵移過的光柵線對(duì)數(shù)Ⅳ進(jìn)行直接計(jì)數(shù)。但實(shí)際系統(tǒng)并不單純計(jì)數(shù),而是利用電子細(xì)分方法將莫爾條紋的一個(gè)周期細(xì)分,于是可讀出小數(shù)部分,使系統(tǒng)的分辨能力提高。目前電子細(xì)分可分到幾十到分之一。如果單純從光柵方面去提高分辨率,光柵節(jié)距再做小幾十倍,工藝上是難以達(dá)到的。
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