用偏振光的分析來(lái)得到有關(guān)被測(cè)量的信息是一種非常有效的方法。

   用橢圓儀測(cè)量薄膜，可以使EP1C4F324C7N分辨率達(dá)到0. Inm數(shù)量級(jí)，而且可以同時(shí)得到膜的厚度和折射率的數(shù)值。

   在干涉條紋細(xì)分技術(shù)中，目前精度最高的方法是用偏振光分析實(shí)現(xiàn)的。

   用偏振原理測(cè)量1/4波片和1/2波片等延遲片，對(duì)應(yīng)的厚度誤差在Inm左右，這是用直接測(cè)量厚度的方法難以實(shí)現(xiàn)的。

   共光路干涉顯微鏡的光路結(jié)構(gòu)原理圖，其關(guān)鍵是在顯微鏡的偏振光路中加入了Wollaston梭鏡，它是由兩個(gè)光軸互相垂直的雙折射直角棱鏡粘合而成，它將入射線偏振光分為兩束具有微小夾角、振動(dòng)方向互垂直的線偏振光。這兩束光通過(guò)顯微物鏡后產(chǎn)生一平行的剪切量AX投射到被測(cè)表面，從被測(cè)表面反射回的兩束正交線偏振光經(jīng)原路返回，由Wollaston棱鏡重新復(fù)合共線，穿過(guò)1/4波片和檢偏器后發(fā)生干涉。由于兩束光的橫向剪切量AX小于顯微鏡的分辨率極限，因此在視場(chǎng)中只能看到單一雙重像。當(dāng)被測(cè)表面形貌在AX微區(qū)內(nèi)的高度梯度不為零時(shí)，致兩束相干光產(chǎn)生一定的光程差，在視場(chǎng)中相應(yīng)的地方就會(huì)有強(qiáng)烈的光強(qiáng)變化，因而表面形貌的微觀細(xì)節(jié)便清楚地呈現(xiàn)出來(lái)。