改進(jìn)措施
發(fā)布時(shí)間:2015/6/25 21:37:02 訪問次數(shù):389
知道了產(chǎn)生軟誤差的物理過程,HD10148也就有了防止的措施。防止產(chǎn)生軟誤差的措施主要有以下幾種。
1)提高封裝材料的純度,減少a粒子來源。
2)芯片表面涂阻擋層,如聚酸胺系列有機(jī)高分子化合物,組織僅粒子發(fā)射到芯片中。
3)從器件設(shè)計(jì)人手,增加存儲單位面積的電荷存儲容量,如采用介電系數(shù)大的材料或溝槽結(jié)構(gòu)電容,如圖4. 25所示,增大存儲電容面積。也可在襯底中加隱埋層,提高雜質(zhì)濃度,并使隱埋層雜質(zhì)分布優(yōu)化,使電荷收集效率小而又不致提高結(jié)電容,降低電路性能。
4)從電路設(shè)計(jì)人手,采用ECC(Error CorrectingCode,糾錯碼)技術(shù)。
5) DRAM的使用中采用復(fù)雜的時(shí)序控制電路,縮短位線電壓浮動時(shí)間,減少軟誤差。
圖4. 25 溝槽結(jié)構(gòu)電容剖面圖
從管芯加工完成后的中測、劃片、鍵合、封裝等直到器件完成的所有工序統(tǒng)稱后工序,其中存在的可靠性問題有:1)由濕氣引起金屬材料的腐蝕;2)由濕氣引起器件性能的退化。后一種失效在塑封器件中較為明顯。塑封是在環(huán)氧樹脂中,加入硬化劑、填充劑等,加熱、加壓固化成管殼。其耐濕差、濕氣的危害不容忽視。
水汽的來源與作用
塑封器件中的水汽包括封裝時(shí)殘留于器件內(nèi)部、表面吸附或經(jīng)材料間的縫隙滲人以及由外界通過塑料材料本身擴(kuò)散進(jìn)入的水汽。水汽可把外界及樹脂表面的污染帶人,也可溶解樹脂中含有的雜質(zhì)(如Cl-、Na+及保護(hù)膜中的磷)等形成電解液,以及引起體積膨脹等變化,影響器件可靠性。
知道了產(chǎn)生軟誤差的物理過程,HD10148也就有了防止的措施。防止產(chǎn)生軟誤差的措施主要有以下幾種。
1)提高封裝材料的純度,減少a粒子來源。
2)芯片表面涂阻擋層,如聚酸胺系列有機(jī)高分子化合物,組織僅粒子發(fā)射到芯片中。
3)從器件設(shè)計(jì)人手,增加存儲單位面積的電荷存儲容量,如采用介電系數(shù)大的材料或溝槽結(jié)構(gòu)電容,如圖4. 25所示,增大存儲電容面積。也可在襯底中加隱埋層,提高雜質(zhì)濃度,并使隱埋層雜質(zhì)分布優(yōu)化,使電荷收集效率小而又不致提高結(jié)電容,降低電路性能。
4)從電路設(shè)計(jì)人手,采用ECC(Error CorrectingCode,糾錯碼)技術(shù)。
5) DRAM的使用中采用復(fù)雜的時(shí)序控制電路,縮短位線電壓浮動時(shí)間,減少軟誤差。
圖4. 25 溝槽結(jié)構(gòu)電容剖面圖
從管芯加工完成后的中測、劃片、鍵合、封裝等直到器件完成的所有工序統(tǒng)稱后工序,其中存在的可靠性問題有:1)由濕氣引起金屬材料的腐蝕;2)由濕氣引起器件性能的退化。后一種失效在塑封器件中較為明顯。塑封是在環(huán)氧樹脂中,加入硬化劑、填充劑等,加熱、加壓固化成管殼。其耐濕差、濕氣的危害不容忽視。
水汽的來源與作用
塑封器件中的水汽包括封裝時(shí)殘留于器件內(nèi)部、表面吸附或經(jīng)材料間的縫隙滲人以及由外界通過塑料材料本身擴(kuò)散進(jìn)入的水汽。水汽可把外界及樹脂表面的污染帶人,也可溶解樹脂中含有的雜質(zhì)(如Cl-、Na+及保護(hù)膜中的磷)等形成電解液,以及引起體積膨脹等變化,影響器件可靠性。
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