鋁的氧化性活潑，HD10160G其電極電位為負(fù)（相對(duì)于氫電極），在空氣中常生成一薄層Al2 03，它具有保護(hù)膜性質(zhì)。但當(dāng)有水汽存在時(shí)便生成兩性的Al(OH)3，它既可溶于酸又可溶于堿，且Al(OH)。的體積比鋁的大，使Al2 03變得疏松，露出基底鋁，促使鋁的進(jìn)一步腐蝕。

   鋁腐蝕模式視鋁附近有無電場(chǎng)或其他金屬而可分為三種：化學(xué)的、電化學(xué)的和電腐蝕的（與其他金屬構(gòu)成電池）。鋁互連線的電位各處可不等，從而構(gòu)成單一陽電池而發(fā)生電化學(xué)腐蝕，條件是要有水的存在作為電解液，電位高處為陽極，電位低處為陰極。鋁是兩性金屬，不論是處于何種極性均可產(chǎn)生腐蝕，如通常所說的器件內(nèi)長(zhǎng)白毛即生成了Al(OH)3

   當(dāng)水中含有P3+、Cl-、F、Na+等離子時(shí)，會(huì)加速鋁的腐蝕，如

   Na++e一÷Na

   Na+ H20—Na++ OH-J-丟H2十

   Al(OH)3 +CI-—Al(OH)2Cl+OH-

   Al+ 4C1-—，AICl4+3e

   AICl4+3Hz0—Al(OH)3 +3H++4C1-

   Cl-與氫氧化鋁反應(yīng)生成的Al(OH)：Cl是可溶性鹽，溶解后露出基底鋁，引起進(jìn)一步反應(yīng)，Na+等造成OH-離子增加，促進(jìn)了氫氧化鋁的生成，故腐蝕加速。

   PSG鈍化層中含磷量一般在0.02～0. 05（重量百分比）之間，對(duì)Na+等可動(dòng)電荷有俘獲固定作用。如果含磷量過多，易潮解、吸水成磷酸，PH值增加，也會(huì)使鋁腐蝕加速。

   Cl-引起的鋁腐蝕與磷引起的有明顯的區(qū)別，Cl-趨向高電位，引起的鋁腐蝕多發(fā)生在電位較高處，而磷是正離子，引起的腐蝕多發(fā)生在電位相對(duì)為負(fù)的鋁上。