潔凈工作臺(tái)法
發(fā)布時(shí)間:2015/10/26 21:40:19 訪問次數(shù):460
半導(dǎo)體I：業(yè)采用凈化問技術(shù)最初是由NASA（美國(guó)航空航天局）為組裝航天器和IJ星而開發(fā)的。 HEF40106BTR與擴(kuò)大到需要擁有更多工人的更大牛產(chǎn)區(qū)域時(shí)，足以裝配衛(wèi)星的小型凈化問小能維持。該問題可以用凈化間工作臺(tái)方法補(bǔ)救。主要是把過濾器裝在單個(gè)-]二作臺(tái)L，并使用無脫落的物質(zhì)．在T作臺(tái)以外，晶圓被裝在密封的盒子中儲(chǔ)存和運(yùn)輸。
最初制造區(qū)是由一個(gè)被稱為舞廳式( ballroom)設(shè)計(jì)的大屋f組成。在大型車間中按順序排列的工作臺(tái)（稱為工作罩）組成加工Ⅸ，使晶圓依工藝次序經(jīng)過而從不露于臟空氣中。凈化，J，：作罩中的過濾器是一種高效顆粒搜集( HEPA)過濾器，或更苛刻的應(yīng)用超低顆粒(ULPA)過濾器。，這砦過濾器是由含許多小孔，并按手風(fēng)琴零葉折疊的脆性纖維組成的（見圖5.8），高密度的小孔與大面積的過濾層，使得大量的空氣低速流過。由T二低速空氣可避免產(chǎn)乍窄氣流，有利于I：作臺(tái)的潔凈度，并且對(duì)于操作員而苦，在舒適的環(huán)境中[：作也是必要的。典型的空氣流量為每分鐘90—100英尺，HF,PA和LTLPA過濾器町使0.12 lt,m顆粒達(dá)到99. 9999%或更高的過濾效率.
半導(dǎo)體I：業(yè)采用凈化問技術(shù)最初是由NASA（美國(guó)航空航天局）為組裝航天器和IJ星而開發(fā)的。 HEF40106BTR與擴(kuò)大到需要擁有更多工人的更大牛產(chǎn)區(qū)域時(shí)，足以裝配衛(wèi)星的小型凈化問小能維持。該問題可以用凈化間工作臺(tái)方法補(bǔ)救。主要是把過濾器裝在單個(gè)-]二作臺(tái)L，并使用無脫落的物質(zhì)．在T作臺(tái)以外，晶圓被裝在密封的盒子中儲(chǔ)存和運(yùn)輸。
最初制造區(qū)是由一個(gè)被稱為舞廳式( ballroom)設(shè)計(jì)的大屋f組成。在大型車間中按順序排列的工作臺(tái)（稱為工作罩）組成加工Ⅸ，使晶圓依工藝次序經(jīng)過而從不露于臟空氣中。凈化，J，：作罩中的過濾器是一種高效顆粒搜集( HEPA)過濾器，或更苛刻的應(yīng)用超低顆粒(ULPA)過濾器。，這砦過濾器是由含許多小孔，并按手風(fēng)琴零葉折疊的脆性纖維組成的（見圖5.8），高密度的小孔與大面積的過濾層，使得大量的空氣低速流過。由T二低速空氣可避免產(chǎn)乍窄氣流，有利于I：作臺(tái)的潔凈度，并且對(duì)于操作員而苦，在舒適的環(huán)境中[：作也是必要的。典型的空氣流量為每分鐘90—100英尺，HF,PA和LTLPA過濾器町使0.12 lt,m顆粒達(dá)到99. 9999%或更高的過濾效率.
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