不同環(huán)境的典型級別數(shù)
發(fā)布時(shí)間:2015/10/26 21:37:46 訪問次數(shù):335
凈化間的設(shè)計(jì)是要使生產(chǎn)無污染晶圓的能力更完整化。設(shè)計(jì)時(shí)的主要思路是保持加l：中空氣的潔凈。HEF4001BTR自動化生產(chǎn)也是降低污染的一種重要方法。這個(gè)問題將于“工藝設(shè)備”p與第15章展開講述，共有4種不同的凈化間設(shè)計(jì)方法：
1．潔凈-1：作臺
2．隧道型設(shè)計(jì)
3．微局部環(huán)境
4．晶圓隔離技術(shù)( WIT)
潔凈工作臺法
半導(dǎo)體I：業(yè)采用凈化問技術(shù)最初是由NASA（美國航空航天局）為組裝航天器和IJ星而開發(fā)的。、然I斫，！與擴(kuò)大到需要擁有更多工人的更大牛產(chǎn)區(qū)域時(shí)，足以裝配衛(wèi)星的小型凈化問小能維持。該問題可以用凈化間工作臺方法補(bǔ)救。主要是把過濾器裝在單個(gè)，并使用無脫落的物質(zhì)．在T作臺以外，晶圓被裝在密封的盒子中儲存和運(yùn)輸。
凈化間的設(shè)計(jì)是要使生產(chǎn)無污染晶圓的能力更完整化。設(shè)計(jì)時(shí)的主要思路是保持加l：中空氣的潔凈。HEF4001BTR自動化生產(chǎn)也是降低污染的一種重要方法。這個(gè)問題將于“工藝設(shè)備”p與第15章展開講述，共有4種不同的凈化間設(shè)計(jì)方法：
1．潔凈-1：作臺
2．隧道型設(shè)計(jì)
3．微局部環(huán)境
4．晶圓隔離技術(shù)( WIT)
潔凈工作臺法
半導(dǎo)體I：業(yè)采用凈化問技術(shù)最初是由NASA（美國航空航天局）為組裝航天器和IJ星而開發(fā)的。、然I斫，！與擴(kuò)大到需要擁有更多工人的更大牛產(chǎn)區(qū)域時(shí)，足以裝配衛(wèi)星的小型凈化問小能維持。該問題可以用凈化間工作臺方法補(bǔ)救。主要是把過濾器裝在單個(gè)，并使用無脫落的物質(zhì)．在T作臺以外，晶圓被裝在密封的盒子中儲存和運(yùn)輸。
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