由經(jīng)驗(yàn)得出的法則是，充分的RT9167A-33GB沖洗要以流速為每分鐘等于沖洗池體積的5倍流量（每分鐘的水更換次數(shù)）持續(xù)沖洗至少5分鐘（取決于晶圓的直徑）。如果沖洗池的體積為3L.

   沖洗的時(shí)間長(zhǎng)短是由測(cè)量排出沖洗池的水的電阻率決定的。

化學(xué)清洗液在沖洗的水中是帶電的分子，它們的存在可由水的電

阻率推測(cè)。，如果進(jìn)入沖洗池的水的電阻為18.2 Mfl的水平，那么 在清洗池的出E]處水的電阻為15~18.2 MQ說明晶圓已經(jīng)清洗并 沖淋干凈。由于清水沖洗至關(guān)重要，所以通常至少要進(jìn)行兩種驀  圖s．315絮行下流沖洗洗，而總的沖洗時(shí)間要設(shè)定為由電阻率測(cè)量而確定的最小沖洗臥間的2~5倍。通常在沖洗池出口處安裝一個(gè)水電阻率測(cè)量表以不斷地測(cè)量出口處水的電阻率，并在沖洗完成時(shí)給出信號(hào)。

   清洗機(jī)：水清洗效率是污染控制和生產(chǎn)成本的兩個(gè)關(guān)鍵因素。平行式下流沖洗(見圖5. 31)直接將清洗的水沖到晶圓上的通道，在清洗步驟使混合最小化。

   考慮到?jīng)_洗的有效性和節(jié)約用量水，泄放式?jīng)_洗無疑是一個(gè)引入注目的方法。系統(tǒng)的構(gòu)成類似溢流式?jīng)_洗，但具有噴灑能力。晶圓被放置到干的沖洗槽中即刻用去離子水噴淋。當(dāng)噴淋進(jìn)行時(shí)，沖洗槽被水迅速充滿。當(dāng)水溢流至沖洗槽的頂端，其底部的一個(gè)活門開啟，將水頃刻間排入泄放系統(tǒng)。這樣的填滿和泄放的過程反復(fù)幾次直至晶圓被完全沖洗干凈。