光學(xué)投影系統(tǒng)的分辨率由于鏡頭和光線波長(zhǎng)的限制，已經(jīng)接近極限。ADS7867IDBVR正是這兩個(gè)極限因素的存在，使得光刻膠的反差閾值( contrast  threshold)也變得很重要，由于使用紫外線或深紫外線的能量大和曝光時(shí)間短，曝光波的能量強(qiáng)度有變化，使得光刻膠中的圖像變得模糊。

   一種方法可以降低閾值，即反差增強(qiáng)層( CEL)，就是在光刻膠上面涂一層，該層最初對(duì)曝光輻射是不透明的（見圖10. 37）。

   在曝光循環(huán)中，反差增強(qiáng)層變白（透明的），從而允許光線通過它進(jìn)入下面的光刻膠。反差增強(qiáng)層在變成透明物質(zhì)前，首先對(duì)高強(qiáng)度光線響應(yīng)，實(shí)際上在變成透明物質(zhì)前，等于保存了低強(qiáng)度光線。結(jié)果就是光刻膠接受均勻的高強(qiáng)度能量照射，使得分辨率提高。，可以將反差增強(qiáng)層想象成雙層光刻膠系統(tǒng)中的七層光刻膠，在這上面薄層中形成圖形。

   反差增強(qiáng)層在顯影前被一種噴涂化學(xué)試劑除去，然后對(duì)晶圓進(jìn)行常規(guī)的顯影。具有1.0lim分辨能力的正膠通過反差增強(qiáng)層可以

做出0.5 ym的圖形.