電阻、電壓和電流3個(gè)參數(shù)的關(guān)系服從歐姆定律。其數(shù)學(xué)表達(dá)式如下所示：式中尺為電阻，為電壓，AD822AR為電流，p為樣品電阻率，L為樣品長(zhǎng)度，4為樣品橫截面積，形為樣品寬度，D為樣品高度。

   從理論上講，晶圓的電阻率可以用萬(wàn)用表（見(jiàn)圖14.2）測(cè)量得到，通過(guò)測(cè)量給定尺寸的樣品在某一固定電流下的電壓值來(lái)計(jì)算晶圓的電阻率。然而用萬(wàn)用表測(cè)量時(shí)，探針與晶圓材料之間酌接觸電阻太大，以至于不能精確測(cè)量低摻雜情況下半導(dǎo)體的電阻率，四探針測(cè)試儀是一臺(tái)用于測(cè)量晶圓和晶體的電阻率的設(shè)備。它有4個(gè)細(xì)小的，與電源和伏特計(jì)相連的內(nèi)嵌式探針。一個(gè)四探針測(cè)試儀由4個(gè)排成一條線的細(xì)小金屬探針組成。外側(cè)的兩個(gè)探針連接電源，內(nèi)側(cè)的兩個(gè)探針連接伏特計(jì)。在測(cè)量過(guò)程中，電流流過(guò)外側(cè)的兩個(gè)探針，并fi通過(guò)內(nèi)側(cè)探針測(cè)量得出電壓的變化值（見(jiàn)圖14.3）?電流與電壓值之問(wèn)的關(guān)系由探針之間的距離和材料的電阻率共同決定。網(wǎng)探針測(cè)試儀測(cè)量抵消r測(cè)試時(shí)探針與晶圓之間的

接觸電阻。