硅通孔技術(shù)
發(fā)布時間:2015/11/16 19:14:43 訪問次數(shù):1867
硅通子L技術(shù):除了芯片面對面的凸點/焊球鍵合和從頂層芯片到下面芯片(芯片塊)的引線鍵合外,FM24C256-G還有一種硅通孔( TSV)技術(shù)。這個概念很簡單,在晶圓創(chuàng)建從頂?shù)降椎亩矗ㄍ?/span>孔),,使用光刻/刻蝕和等離子刻蝕。可在晶片制造工藝的前端( FEOL)或后端(BEOL)過程中創(chuàng)建通孔(見圖18. 44)。
圖18. 44硅通孔技術(shù)示意圖(源自:Tessara)
內(nèi)插結(jié)構(gòu):內(nèi)插結(jié)構(gòu)( interposer)是中間疊層或襯底,允許在封裝體內(nèi)芯片之間或芯片與封裝體連接之間有一個額外的連接平面(或多個平面)(見圖18. 45)。它們還可以給封裝體提供硬度。有機內(nèi)插結(jié)構(gòu)是具有穿通孔導(dǎo)體的疊層制成的。剛性的內(nèi)插結(jié)構(gòu)通常是由環(huán)氧樹脂材料制成的,而柔性的內(nèi)插結(jié)構(gòu)是由樹脂制成的。…i。硅片通過硅通孔作為內(nèi)插器。在一些方案中,硅片通過硅通孔作為內(nèi)插結(jié)構(gòu)。
硅通子L技術(shù):除了芯片面對面的凸點/焊球鍵合和從頂層芯片到下面芯片(芯片塊)的引線鍵合外,FM24C256-G還有一種硅通孔( TSV)技術(shù)。這個概念很簡單,在晶圓創(chuàng)建從頂?shù)降椎亩矗ㄍ?/span>孔),,使用光刻/刻蝕和等離子刻蝕?稍诰圃旃に嚨那岸( FEOL)或后端(BEOL)過程中創(chuàng)建通孔(見圖18. 44)。
圖18. 44硅通孔技術(shù)示意圖(源自:Tessara)
內(nèi)插結(jié)構(gòu):內(nèi)插結(jié)構(gòu)( interposer)是中間疊層或襯底,允許在封裝體內(nèi)芯片之間或芯片與封裝體連接之間有一個額外的連接平面(或多個平面)(見圖18. 45)。它們還可以給封裝體提供硬度。有機內(nèi)插結(jié)構(gòu)是具有穿通孔導(dǎo)體的疊層制成的。剛性的內(nèi)插結(jié)構(gòu)通常是由環(huán)氧樹脂材料制成的,而柔性的內(nèi)插結(jié)構(gòu)是由樹脂制成的。…i。硅片通過硅通孔作為內(nèi)插器。在一些方案中,硅片通過硅通孔作為內(nèi)插結(jié)構(gòu)。
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