三角法測(cè)量原理
發(fā)布時(shí)間:2016/2/16 19:34:39 訪問(wèn)次數(shù):2144
那么工件表面相對(duì)原來(lái)的位置在垂直表面方向有一個(gè)位移x,反射到檢測(cè)平面的光點(diǎn)就從點(diǎn)移到曰點(diǎn)。點(diǎn)和B點(diǎn)的距離為少,根據(jù)光學(xué)三角原理,有如下關(guān)系:D0808
y= 2mx sin oi (11.15)
式中,m為透鏡放大系數(shù),01為入射角。根據(jù)需要,m可等于l或其他數(shù)值。此處m-l,并取臼1= 45.
當(dāng)x較小,保證在檢測(cè)透鏡的焦深范圍內(nèi)時(shí),y與x呈線性關(guān)系由式( 11.16)可知,如果我們?cè)O(shè)法探測(cè)到反射光點(diǎn)的位置變化y,則工件表面輪廓高度的變化量x就可得到。若在檢測(cè)平面放置一個(gè)直徑為3 mm呈對(duì)半形分布的接收光纖束,該光纖束的兩個(gè)分支經(jīng)光纖耦合連接頭分別接到兩個(gè)光電二極管上,這兩個(gè)光電二極管的輸出端分別接到一個(gè)高阻抗型差分放大器的同相輸入端和反相輸入端。其后接低通濾波器,輸出一個(gè)正比于工件表面輪廓高度變化的電壓值,再經(jīng)一個(gè)12位A/D變換器,由計(jì)算機(jī)采集并處理各種數(shù)據(jù),最后得到工件的表面粗糙度值。
采用光點(diǎn)變位法在線測(cè)量表面粗糙度的優(yōu)點(diǎn)是測(cè)量的精度較高,其缺點(diǎn)主要有儀器結(jié)構(gòu)復(fù)雜,儀器調(diào)整木方便,測(cè)量范圍較小,并且測(cè)量速度也較慢。
那么工件表面相對(duì)原來(lái)的位置在垂直表面方向有一個(gè)位移x,反射到檢測(cè)平面的光點(diǎn)就從點(diǎn)移到曰點(diǎn)。點(diǎn)和B點(diǎn)的距離為少,根據(jù)光學(xué)三角原理,有如下關(guān)系:D0808
y= 2mx sin oi (11.15)
式中,m為透鏡放大系數(shù),01為入射角。根據(jù)需要,m可等于l或其他數(shù)值。此處m-l,并取臼1= 45.
當(dāng)x較小,保證在檢測(cè)透鏡的焦深范圍內(nèi)時(shí),y與x呈線性關(guān)系由式( 11.16)可知,如果我們?cè)O(shè)法探測(cè)到反射光點(diǎn)的位置變化y,則工件表面輪廓高度的變化量x就可得到。若在檢測(cè)平面放置一個(gè)直徑為3 mm呈對(duì)半形分布的接收光纖束,該光纖束的兩個(gè)分支經(jīng)光纖耦合連接頭分別接到兩個(gè)光電二極管上,這兩個(gè)光電二極管的輸出端分別接到一個(gè)高阻抗型差分放大器的同相輸入端和反相輸入端。其后接低通濾波器,輸出一個(gè)正比于工件表面輪廓高度變化的電壓值,再經(jīng)一個(gè)12位A/D變換器,由計(jì)算機(jī)采集并處理各種數(shù)據(jù),最后得到工件的表面粗糙度值。
采用光點(diǎn)變位法在線測(cè)量表面粗糙度的優(yōu)點(diǎn)是測(cè)量的精度較高,其缺點(diǎn)主要有儀器結(jié)構(gòu)復(fù)雜,儀器調(diào)整木方便,測(cè)量范圍較小,并且測(cè)量速度也較慢。
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