表面粗糙度測量儀
發(fā)布時(shí)間:2016/2/16 19:31:15 訪問次數(shù):645
近年來,加工D0806AG表面的微變形、波度、表面粗糙度、光澤、外觀、抗腐蝕性能等表面微觀幾何特性結(jié)構(gòu)越來越被人們所重視,特別是對(duì)表面粗糙度,人們正在進(jìn)行大量研究和探討,因而,目前利用光學(xué)方法進(jìn)行非接觸測量表面粗糙度的方法已經(jīng)越來越多,如光斑法、光點(diǎn)變位法、象散法、臨界角法、干涉法以及光纖法等。另外,能否實(shí)現(xiàn)表面粗糙度的在線檢測也成為表面粗糙度測量方法的發(fā)展趨勢。
光點(diǎn)變位法(三角法)
如圖11.2所示,激光束經(jīng)過聚焦透鏡Li后,以45。角入射到工件表面上。當(dāng)工件表面位于Li的焦點(diǎn)時(shí),如圖中實(shí)線所示,其反射光線沿著鏡面反射方向,通過透鏡L2、L3投射到檢測平面的彳點(diǎn)。如果工件表面離開了原來的聚焦點(diǎn)(如圖中工件從實(shí)線運(yùn)動(dòng)到虛線),那么工件表面相對(duì)原來的位置在垂直表面方向有一個(gè)位移x,反射到檢測平面的光點(diǎn)就從彳點(diǎn)移到曰點(diǎn)。設(shè)彳點(diǎn)和B點(diǎn)的距離為少,根據(jù)光學(xué)三角原理.
近年來,加工D0806AG表面的微變形、波度、表面粗糙度、光澤、外觀、抗腐蝕性能等表面微觀幾何特性結(jié)構(gòu)越來越被人們所重視,特別是對(duì)表面粗糙度,人們正在進(jìn)行大量研究和探討,因而,目前利用光學(xué)方法進(jìn)行非接觸測量表面粗糙度的方法已經(jīng)越來越多,如光斑法、光點(diǎn)變位法、象散法、臨界角法、干涉法以及光纖法等。另外,能否實(shí)現(xiàn)表面粗糙度的在線檢測也成為表面粗糙度測量方法的發(fā)展趨勢。
光點(diǎn)變位法(三角法)
如圖11.2所示,激光束經(jīng)過聚焦透鏡Li后,以45。角入射到工件表面上。當(dāng)工件表面位于Li的焦點(diǎn)時(shí),如圖中實(shí)線所示,其反射光線沿著鏡面反射方向,通過透鏡L2、L3投射到檢測平面的彳點(diǎn)。如果工件表面離開了原來的聚焦點(diǎn)(如圖中工件從實(shí)線運(yùn)動(dòng)到虛線),那么工件表面相對(duì)原來的位置在垂直表面方向有一個(gè)位移x,反射到檢測平面的光點(diǎn)就從彳點(diǎn)移到曰點(diǎn)。設(shè)彳點(diǎn)和B點(diǎn)的距離為少,根據(jù)光學(xué)三角原理.
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