合金法又稱燒結(jié)法,這種方法不僅可以形成歐姆接觸,而且可以制備PN結(jié)。 HCNR201合金時(shí),將金屬放在晶圓上,裝進(jìn)模具,壓緊后,在真空中加熱到熔點(diǎn)以上,合金熔解,降溫后與晶圓凝固而結(jié)合在一起,形成歐姆接觸,合金完成。整個(gè)過程分為升溫、恒溫和降溫三個(gè)階段。

   以鋁與P型硅接觸為例介紹合金法工藝。硅鋁的最低共熔點(diǎn)是5刀℃,當(dāng)合金溫度低于此溫度時(shí),鋁和硅不熔化,都保持固態(tài)狀態(tài),如圖2,17(a)所示。當(dāng)溫度升高到577℃時(shí),交界面處的硅鋁原子相互熔化,并形成鋁原子88.7%、硅原子l1.3%的鋁一硅溶液,如圖2.17(b)所示。隨著時(shí)間和溫度的增加,交界面處的溶液迅速增多,如果溫度繼續(xù)增加,鋁硅熔化速度也增加,最后整個(gè)鋁層變成鋁硅熔體,如圖2.17(c)所示。保持一段時(shí)間,使合金溶液中的硅原子達(dá)到飽和,再緩緩降溫,硅原子在熔液中溶解度將下降,多余的硅原子會逐漸從熔液中析出,形成硅原子結(jié)晶層,同時(shí),鋁原子也被帶入結(jié)晶層中,如圖2.17(d)所示。

    合金的方法很多,可在擴(kuò)散爐或燒結(jié)爐中通入惰性氣體或抽真空,也可以在真空中進(jìn)行。目前,一般都是反刻鋁以后,把去膠和合金在一起完成,這樣既去除了光刻膠,又達(dá)到了合金的目的,操作簡單方便。