微電子測(cè)試圖形的功能

   微電子測(cè)試圖形是工藝監(jiān)控的重要工具,為微電子I業(yè)普遍采用。微電子測(cè)試圖形是一組專門設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu),采用與集成電路制造相容的工藝, MAX882ESA+通過(guò)對(duì)這些結(jié)構(gòu)的測(cè)試和分析來(lái)監(jiān)控工藝和評(píng)估由這種工藝制造的器件和電路。具體功能大致歸納如下:

   ①提取工藝、器件和電路參數(shù),評(píng)價(jià)材料、設(shè)各、I藝和操作人員的工作質(zhì)量,實(shí)行工藝監(jiān)控和工藝診斷;

   ②制定工藝規(guī)范和設(shè)計(jì)規(guī)范;

   ③建立工藝模擬、器件模擬和電路模擬的數(shù)據(jù)庫(kù);

   ④考察工藝線的技術(shù)能力;

   ⑤進(jìn)行成品率分析和可靠性分析。