LED顯示器件的制備工藝包括:ITO玻璃清洗艸光刻一再清洗→前處理→真空蒸鍍有機(jī)層-真空蒸鍍背電極→MAX3045BEWE+T真空蒸鍍保護(hù)層一封裝→切割一測(cè)試→模塊組裝→產(chǎn)品檢驗(yàn)及ITO作為陽(yáng)極其表面狀態(tài)直接影響空穴的注入和與有機(jī)薄膜層間的界面電子狀態(tài)及有機(jī)材料的成膜性。如果ITO表面不清潔,其表面自由能變小,從而導(dǎo)致蒸鍍?cè)谏厦娴目昭?/span>傳輸材料發(fā)生凝聚、成膜不均勻。

   ITo表面的處理過(guò)程為:洗潔精清洗→乙醇清洗→丙酮清洗一純水清洗,均用超聲波清洗機(jī)進(jìn)行清洗,每次洗滌采用清洗5分鐘,停止5分鐘,分別重復(fù)3次的方法。然后再用紅外烘箱烘干待用。對(duì)洗凈后的ITo玻璃還需進(jìn)行表面活化處理,以增加ITO表面層的含氧量,提高ITo表面的功函數(shù)。也可以用比例為水:雙氧水:氨水=5∶⒈1混合的過(guò)氧化氫溶液處理。

   清理ITo表面,使ITO表面過(guò)剩的錫含量減少而氧的比例增加,以提高ITo表面的功函數(shù)來(lái)增加空穴注入的概率,可使oLED器件亮度提高一個(gè)數(shù)量級(jí)。ITo玻璃在使用前還應(yīng)經(jīng)過(guò)“紫外線一臭氧”或“等離子”表面處理,主要目的是去除ITO表面殘留的有機(jī)物、促使ITo表面氧化、增加ITo表面的功函數(shù)、提高ITo表面的平整度。未經(jīng)處理的ITo表面功函數(shù)約為4.6cV,經(jīng)過(guò)紫外線一臭氧或等離子表面處理后的ITo表面的功函數(shù)為5。OcV以上,發(fā)光效率及工作壽命都會(huì)得到提高。對(duì)ITo玻璃表面進(jìn)行處理一定要在干燥的真空環(huán)境中進(jìn)行,處理過(guò)的ITo玻璃不能在空氣中放置太久,否則ITO表面就會(huì)失去活性。