光學(xué)顯微鏡l,xl其操作簡單、圖像苜TPS71025D觀的特性,廣泛用于集成電路的觀測(inspection)。

   隨著物理尺寸和缺陷尺寸的縮小,對觀測設(shè)備的高分辨率要求的提高,掃描電子顯微鏡(SEM)逐漸代替光學(xué)顯微鏡成為主要觀察⒈具。但最終,掃描電鏡,其分辨率也不能滿足深亞微米技術(shù)某些關(guān)鍵尺寸/結(jié)構(gòu)要求,囚此透射電子顯微鏡及掃描探針技術(shù)的應(yīng)用變得

越來越廣。

   表面為曲面的玻璃或其他透明材料制成的光學(xué)透鏡可以使物體放大成像,光學(xué)顯微鏡就是利用這一原理,把人眼所不能分辨的近處的微小物體放大到人眼足以觀察的尺寸。光學(xué)顯微鏡一般由聚光照明系統(tǒng)、物鏡.日鏡(光學(xué)系統(tǒng))載物臺、調(diào)焦機(jī)構(gòu)(機(jī)械系統(tǒng))和照相系統(tǒng)組成。聚光照明系統(tǒng)主要由光源和聚光鏡構(gòu)成.光源即能發(fā)射光波的物體,光源產(chǎn)生的光束(常為可見光,紫外線/UV,和深紫外線DUⅤ)經(jīng)聚光鏡作用后使其集屮到置于載物臺上樣品的被觀察部分。被觀察物體位于物鏡前方(離開物鏡的距離大于物鏡的焦距,但小于兩倍物鏡焦距),物鏡是實現(xiàn)第一級放大的鏡頭,物體經(jīng)物鏡放大后成一倒立實像,在顯微鏡的沒汁上.將此像落在目鏡的一倍焦距之內(nèi),使物鏡所放大的第一次像(中問像),叉被目鏡再一次放大,最終在目鏡的物方(L護(hù)間像的同側(cè))、人眼的明視距離(250mm)處形成放大的直立(相對中間像而言)虛像,人眼看到的就是虛像。在觀測時,利用調(diào)焦旋鈕使載物臺作粗調(diào)和微調(diào)的升降運動,使被觀察物體調(diào)焦清晰成像。

   物鏡是顯微鏡屮對成像質(zhì)量優(yōu)劣起決定性作用的光學(xué)元件。一般物鏡的最大放大倍數(shù)為160x或⒛Ox;目鏡放大倍數(shù)為lOx,囚此,顯微鏡最大放大倍數(shù)為160Ox或2000x。人眼在自然狀態(tài)下的分辨能力約為0.25um9則顯微鏡的最大分辨能力為O.16um或0・13um。顯而易見,顯微鏡的分辨極限已經(jīng)不能滿足深亞微米IC結(jié)構(gòu)分析對分辨率的要求。