Random缺陷往往和設(shè)備相關(guān)
發(fā)布時間:2017/11/20 19:34:55 訪問次數(shù):549
Random缺陷往往和設(shè)備相關(guān),一般對成熟I藝其D0在一個比較穩(wěn)定的程度,產(chǎn)品之間的差異相對較小。 S1T8528X01-Q0R0
systematic缺陷往往發(fā)生在制程結(jié)構(gòu)發(fā)生變化的時候,或者舊的制程結(jié)構(gòu)已經(jīng)接近極限,或者新的制程結(jié)構(gòu)還不成熟。其失效有很強(qiáng)的條件相關(guān)性.即在某種條件下一定發(fā)生或者高概率發(fā)牛,常有很強(qiáng)的版圖特征相關(guān)性,可能出現(xiàn)產(chǎn)品關(guān)聯(lián)性(pr°duct specific)c制程不成熟導(dǎo)致的系統(tǒng)性失效如圖17,15所示。
圖17.13 制程不成熟導(dǎo)致的 (Inline deft,ct inspection)或機(jī)臺共通性(tool commonality)系統(tǒng)性失效 分析查找。
如圖17.16所示.通過binn1ap和inline defect maI)的比較,可以找出缺陷在丁藝上的來源。而to()l comn1onality分析呵以找出問題設(shè)備(tr。ubleool),進(jìn)而加以改善。
Random缺陷往往和設(shè)備相關(guān),一般對成熟I藝其D0在一個比較穩(wěn)定的程度,產(chǎn)品之間的差異相對較小。 S1T8528X01-Q0R0
systematic缺陷往往發(fā)生在制程結(jié)構(gòu)發(fā)生變化的時候,或者舊的制程結(jié)構(gòu)已經(jīng)接近極限,或者新的制程結(jié)構(gòu)還不成熟。其失效有很強(qiáng)的條件相關(guān)性.即在某種條件下一定發(fā)生或者高概率發(fā)牛,常有很強(qiáng)的版圖特征相關(guān)性,可能出現(xiàn)產(chǎn)品關(guān)聯(lián)性(pr°duct specific)c制程不成熟導(dǎo)致的系統(tǒng)性失效如圖17,15所示。
圖17.13 制程不成熟導(dǎo)致的 (Inline deft,ct inspection)或機(jī)臺共通性(tool commonality)系統(tǒng)性失效 分析查找。
如圖17.16所示.通過binn1ap和inline defect maI)的比較,可以找出缺陷在丁藝上的來源。而to()l comn1onality分析呵以找出問題設(shè)備(tr。ubleool),進(jìn)而加以改善。
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