但是,如果要考慮所有的交互效應(yīng),代價(jià)巨大。以六因素,每因素兩水平(即六步△藝,每I藝只有兩個(gè)對(duì)照條件)為例,需要64個(gè)實(shí)驗(yàn)條件,這對(duì)于常規(guī)的I藝線已經(jīng)難以承受。SGM8903YTS14G

   如果進(jìn)一步分析,通常單因素的主效應(yīng)和雙因素的交互效應(yīng)是重要的,其余高階交互效應(yīng)往往可以忽略,那么共有α+α=6+15=21個(gè)效應(yīng)需要研究,只需要22個(gè)實(shí)驗(yàn)條件。如何定義這些實(shí)驗(yàn)條件是需要認(rèn)真考慮的。

   先進(jìn)制程的”eld learning對(duì)實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)提出了很高要求.用盡量少的資源,盡量短的時(shí)間,得到有效的實(shí)驗(yàn)結(jié)果,指導(dǎo)下藝的改善。

   表17.3所示為一個(gè)常見(jiàn)的不好的實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)方案。A步T藝的效應(yīng),容易被制程中某些工藝的wafer、時(shí)間累積效應(yīng)混淆;而B(niǎo)步工藝的效應(yīng),容易被某些I藝的奇偶效應(yīng)混淆。這樣的實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì),可能導(dǎo)致得到的結(jié)果不正確,甚至對(duì)后續(xù)工藝改善產(chǎn)生誤導(dǎo)。

   表17.3 不好的實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)方案