根據(jù)集束型裝備的不同特征,可以對(duì)其調(diào)度問(wèn)題進(jìn)行詳細(xì)分類(lèi)。借用經(jīng)典生產(chǎn)系統(tǒng)分類(lèi)法, RLF7030T-3R3M4R1給出了針對(duì)集束型裝備調(diào)度問(wèn)題的三鄰域(α/'//),其中參數(shù)α定義了系統(tǒng)物理特征,參數(shù)'定義了晶圓加工特征,參數(shù)γ則定義了問(wèn)題優(yōu)化目標(biāo)。

   系統(tǒng)物理特征

   CTF表示流水線集束型裝備(C1ustcr Took Flowshop)。r99代表加工步驟的數(shù)目,向量中的每個(gè)值代表對(duì)應(yīng)的加工步驟并行模塊數(shù)的量;'代表機(jī)械手?jǐn)?shù)目;集束型裝備提供幾個(gè)裝載室作為輸入/輸出緩沖模塊,表示每個(gè)集束型裝各緩沖模塊數(shù)目;機(jī)械手類(lèi)型分為單臂、同向雙臂、反向雙臂及三臂機(jī)械手,g=1和g=2分別表示單臂和雙臂機(jī)械手;集束型裝備的加工模塊位置可分為線性、半圓形和環(huán)形分布,大多數(shù)集束型裝備采用的是環(huán)形分布,也稱星形分布,用符號(hào)`=@表示。