在本章參考文獻(xiàn)[48]的基礎(chǔ)本章參考文獻(xiàn)[⒆]研究樹形結(jié)構(gòu)的集束型裝備,首先對(duì)M11L416256SA-35T給定的調(diào)度用遞歸的算法計(jì)算最小的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)問,這須遍歷計(jì)算所有可能周期時(shí)間;接著分析線性集束型裝備在給定調(diào)度下的最小生產(chǎn)節(jié)拍。因?yàn)榍蠼庖话憬Y(jié)構(gòu)配置的Κ集束型裝備的最優(yōu)的機(jī)械手調(diào)度順序是NP-hard的,所以該文獻(xiàn)進(jìn)一步分析最優(yōu)調(diào)度能被快速求解的條件;然后給出多集束型裝備可分解為單集束型裝備的解耦等價(jià)性(DccouplingEqiⅤalcncc)定義,同時(shí)給出樹形結(jié)構(gòu)Κ集束型裝備應(yīng)用這Pull策略(最優(yōu)調(diào)度)滿足的充分條件,以及Κ集束型裝各應(yīng)用Pu11策略可分解的充分條件。該文獻(xiàn)認(rèn)為樹形結(jié)構(gòu)多集束型裝備中,耦合聯(lián)系不限于兩個(gè)相鄰的集束型裝備之間,任何兩個(gè)集束型裝各都有耦合聯(lián)系。所以在給定的調(diào)度下,由晶圓分布及各個(gè)集束型裝備的時(shí)間參數(shù),可以判斷多集束型裝備會(huì)出現(xiàn)庀晶圓周期調(diào)度。但其分解條件具有一定的局限性。例如,在Pull策略下分解兩集束型裝備,必須滿足在C】或o中有一個(gè)較長加工時(shí)間模塊(或較長的機(jī)械手周期),而且o中加工時(shí)間之和及機(jī)械手移動(dòng)時(shí)間較短�？傊�,本章參考文獻(xiàn)[48,⒆]是多集束型裝備調(diào)度領(lǐng)域目前獲得的最好研究結(jié)果,在本領(lǐng)域有重要意義。然而,本章參考文獻(xiàn)認(rèn)為兩集束型裝備的生產(chǎn)節(jié)拍由每個(gè)集束型裝各中的機(jī)械手順序、晶圓數(shù)量的分布、緩沖區(qū)耦合決定,而彐^當(dāng)o中所有模塊的加工時(shí)間之和相對(duì)Cl來說足夠大時(shí),整個(gè)兩集束型裝備是無法獲得1晶圓周期調(diào)度。而實(shí)際上,本章參考文獻(xiàn)[50]的研究發(fā)現(xiàn)這種情況 可以獲得最優(yōu)1晶圓周期調(diào)度。另外,本章參考文獻(xiàn)[49]給出的可分解條件十分有限,認(rèn)為多集束型裝備在一般條件下存在攵晶圓周期調(diào)度,但沒有給出1晶圓周期調(diào)度,同時(shí)當(dāng)不符合分解條件及Pu11策略的最優(yōu)條件時(shí),也沒有給出求解最優(yōu)調(diào)度的方法。