調(diào)度必須考慮設(shè)各出現(xiàn)意外的情況,如臨時晶圓加工、作業(yè)時間波動和加工設(shè)備出現(xiàn)故障等。 LPO2506I-223LC應急調(diào)度方法大多是啟發(fā)式算法。

   臨時晶圓

   半導體生產(chǎn)線為了滿足交貨期要求,必須賦予這類緊急工件最高的優(yōu)先級,并且優(yōu)先加工而無須等待,這類加△任務稱為臨時晶圓。由于臨時晶圓的加入,等待在集束型裝備前的晶圓存在多種類型,故也將臨時晶圓加工歸類于動態(tài)混合晶圓加工。

   本章參考文獻[78]針對臨時晶圓加工路徑不同、并行模塊及晶圓允許跳過不必要的加工工位等情況,提出基于時間約束集的在線調(diào)度算法,并且證明算法的可行性和最優(yōu)性。本章參考文獻[79]進一步研究了該問題,并針對晶圓的重入加工問題,提出一種基于事件驅(qū)動的實時調(diào)度算法。當晶圓到達后,利用之前記錄的加工模塊和搬運模塊的可使用信息,立刻對當前晶圓進行調(diào)度。這些信息用時間約束集表示,且完成調(diào)度之后,晶圓的調(diào)度方案不再做調(diào)整。本章參考文獻[80]針對單臂多集束型裝備的建模與調(diào)度問題,首次將析取圖和滯留約束限制引入多集束裝備調(diào)度的問題域中,并建立調(diào)度問題的非線性規(guī)劃模型,提出基于時間約束集的逐級回溯的啟發(fā)式調(diào)度方法。本章參考文獻[81]在分析單臂和雙臂模型區(qū)別的基礎(chǔ)上,針對雙臂多集束型裝備調(diào)度的特殊性和復雜性,建立雙臂多集束型裝各調(diào)度問題的數(shù)學模型,提出以時間約束集為核心和基于Swap策略的調(diào)度算法。該算法以swap策略為基礎(chǔ),提出用虛擬化的方法解決雙臂多集束型裝備的調(diào)度問題。本章參考文獻[82]提出一種以瓶頸工作站為界,通過逐級回溯和遞推來優(yōu)化機械手搬運作業(yè)順序,

同時降低產(chǎn)品在機器上的駐留時間的啟發(fā)式調(diào)度算法。該算法結(jié)合時間緩沖概念,有效地解決共享工作站的機械手沖突問題,防止死鎖現(xiàn)象的發(fā)生。本章參考文獻[83]以動態(tài)到達晶圓的最短完工時間為調(diào)度目標,構(gòu)造基于搜索可行機械手搬運路徑的調(diào)度算法。本章參考文獻[M]提出一種以時間區(qū)間集為核心、基于虛擬緩沖模塊概念和交換策略的調(diào)度算法,該算法的核心思想是引入虛擬緩沖模塊概念,將雙臂多集束型裝備的調(diào)度問題轉(zhuǎn)化為帶有虛擬緩沖模塊的單集束型裝各的調(diào)度問題。