研究集束型裝備的靜態(tài)調度是不夠的,晶圓的差異性決定晶圓的加工是一個動態(tài)的過程。LPO2506I-224LC來自廠商的數(shù)據(jù)表明:加工時間每50~20“最大有5s的偏差,機械手搬運時間每10~2仉有0~2s的偏差,晶圓定位失敗可能性則根據(jù)設各不同在3%~10%之間變化Ⅱ’蜊。在加工時間可變的條件下,系統(tǒng)的調度將變得極為復雜。因為加工時問的變化可能會導致不滿足晶圓滯留時間約束,調度方案不會像加工時間確定的問題那樣可以通過離線方式獲得。

   最先研究具有晶圓滯留時間約束和作業(yè)時間波動的集束型裝備調度問題。作者采用Pc“i網(wǎng)建模和分支技術,在采用盡早開始的調度策略下研究系統(tǒng)的可調度性,并將系統(tǒng)分為兩類:總是可以調度的(Alwγs Schc1ul曲lc)和總是不可調度的(NcvcrSchcdulablc)。如果是前者,一定存在可行調度方案。而對于后者,能否求得一個可行調 度則是一個懸而未決的問題。本章參考文獻[87~89]中對具有晶圓滯留時間約束和作業(yè)時間波動的雙臂集束型裝備的調度問題進行研究,將作業(yè)時問波動當作對正常加工的一種擾動,提出一個兩級實時調度體系。在上層,假定系統(tǒng)正常運行,求得滿足晶圓駐留時間 約束的離線調度;在底層,根據(jù)實時觀測到的結果,用實時控制策略以盡量消除作業(yè)時間的擾動。基于如上的調度體系和Pc缸網(wǎng)模型,本章參考文獻[89]提出一種實時控制策略,并證明在本章參考文獻[85]中一些被認定為總是不可調度的系統(tǒng)實際上是可調度的。在隨 后的研究中,作者首先分析作業(yè)時間變動對晶圓駐留時間的影響,給出駐留時間波動上限的解析表達式;然后根據(jù)駐留時間波動的分析,研究系統(tǒng)的可調度性及調度方法,給出系統(tǒng)可調度的條件及相應的調度算法,并且給出判斷可調度性和求解最優(yōu)調度方案的解析表達式。如果系統(tǒng)是可調度的,就用解析表達式求得最優(yōu)調度。這一研究結果是該領域的一個重大進展阝剔。但該調度算法仍然假設采用swap策略進行機械手的調度,沒有討論非Swap策略有可能得到更好解的情況。

   加工作業(yè)時間的微小隨機波動對集束型裝備調度提出更大的挑戰(zhàn)。在加工時間隨機波動的條件下,其解的可行性問題比在加工時間確定的條件下要困難得多;再者,在加工時間波動的條件下要進行實時調度,因而算法的實時性成為需要解決的重要問題。