要取得在相當(dāng)寬廣范圍內(nèi)的對(duì)比度,必須放棄一點(diǎn)極限分辨率。而且,為了獲取高于NAn的頻率, V6300ASP5B必須放棄一些小于NAn的空間頻率。對(duì)

于相干度,一般有如下的定義。

   根據(jù)參考文獻(xiàn)E29彐定義,當(dāng)使用非相干擴(kuò)展光源,光源的大小對(duì)應(yīng)的在掩膜版平面上的相干長(zhǎng)度等于系統(tǒng)的最小分辨長(zhǎng)度時(shí),在掩膜版上任意兩點(diǎn)之間(當(dāng)然要大于分辨長(zhǎng)度),實(shí)際上是沒有位相聯(lián)

系的,也就是說這種照明方式是非相干的。在光刻機(jī)中,當(dāng)使用科勒照明下,照明光束充滿系統(tǒng)的最大數(shù)值孔徑除以系統(tǒng)放大倍數(shù)時(shí),照明為非相干。如:浸沒式光刻機(jī)的數(shù)值孔徑為1.35,由于放大率為,那么,在掩膜版平面的數(shù)值孔徑為1.35/4=0.34�；蛘邚埥菫�19.7°。如果照明光束能夠充滿從垂直到19.7°的斜人射方向,那么照明條件為非相干的。任何小于此充滿角度的照明方式為部分相干。照明相干度在光刻機(jī)上的實(shí)現(xiàn)方式如圖7.63所示。

   那么如何解釋圖7.62中的結(jié)果呢?式(733)顯示,衍射級(jí)與級(jí)之間的角度正弦值是固定的,為^/p,如果使用斜入射,當(dāng)斜人射角達(dá)到最大時(shí)(瞄準(zhǔn)鏡頭邊緣,即對(duì)應(yīng)最大數(shù)值孔徑),透鏡的有限孔徑能夠最大限度地接收衍射光,如圖7.60所示。在非相干照明條件下,照明光充滿整個(gè)鏡頭,所以包含了在鏡頭孔徑最邊緣的光線,而其衍射光與入射光的最小張角只要不大于2NA似,就可以讓鏡頭同時(shí)收入兩個(gè)衍射級(jí)(0級(jí)人射光和+1或者-1衍射級(jí)),干涉生成圖樣。所以,對(duì)于σ=1非相干光照明,系統(tǒng)的可分辨空間頻率可以達(dá)到2NA似。而對(duì)于部分相干光,如σ=0.6,系統(tǒng)只能夠分辨到1.6NA似。所以,對(duì)于部分相干光照明,系統(tǒng)的分辨率.