使用斜人射的照明方式仍然可以收到兩束衍射光
發(fā)布時間:2017/10/29 13:44:09 訪問次數(shù):323
在以上的例子中,所成的像雖然說不能夠全部反應(yīng)掩膜版的空間信息,但是可以看到, V62C518256CLL-70對比度還是很高的。對比度定義為 在上面的例子里,經(jīng)過簡單計算,可以得出空間像的對比度為100%。但是在實(shí)際光刻工藝當(dāng)中,這種情況還是不多見的。我們使用的1.35數(shù)值孔徑的光刻機(jī)是用來制作比?00nm小得多的圖形,如100nm空問周期,又叫節(jié)距。那么,100nm是怎么做出來的呢?我們知道,根據(jù)式(753),它的各衍射級的衍射角度(正弦值)為:0、±1,93、±5.79、±9.65,而光 刻機(jī)的數(shù)值孔徑只有1.35。不過,如圖7.60所示,只要空間周期不小于/NA,使用斜人射的照明方式仍然可以收到兩束衍射光。不過這里需要假設(shè)光柵的衍射級的角度正弦不隨人射角的正弦變化(從式(7-33)的光柵公式引出),又叫做霍普金斯近似(Hopkinsapprc廁mation),如式(749)所示。
在以上的例子中,所成的像雖然說不能夠全部反應(yīng)掩膜版的空間信息,但是可以看到, V62C518256CLL-70對比度還是很高的。對比度定義為 在上面的例子里,經(jīng)過簡單計算,可以得出空間像的對比度為100%。但是在實(shí)際光刻工藝當(dāng)中,這種情況還是不多見的。我們使用的1.35數(shù)值孔徑的光刻機(jī)是用來制作比?00nm小得多的圖形,如100nm空問周期,又叫節(jié)距。那么,100nm是怎么做出來的呢?我們知道,根據(jù)式(753),它的各衍射級的衍射角度(正弦值)為:0、±1,93、±5.79、±9.65,而光 刻機(jī)的數(shù)值孔徑只有1.35。不過,如圖7.60所示,只要空間周期不小于/NA,使用斜人射的照明方式仍然可以收到兩束衍射光。不過這里需要假設(shè)光柵的衍射級的角度正弦不隨人射角的正弦變化(從式(7-33)的光柵公式引出),又叫做霍普金斯近似(Hopkinsapprc廁mation),如式(749)所示。
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