由于晶圓流模式和集束型裝備的結(jié)構(gòu)特征都不同于流水車間、作業(yè)車間,也不同P4SMA160CA于己有的機(jī)器人單元制造系統(tǒng)和抓鉤系統(tǒng),所以己有的調(diào)度方法不能用于集束型裝各調(diào)度問題。本章根據(jù)集束型裝備的結(jié)構(gòu)特征、加工時(shí)間約束的運(yùn)行特征對(duì)已有的調(diào)度方法進(jìn)行了分類,指出其中的一些不足之處。其中的調(diào)度方法大多是以單臂機(jī)械手的Pu11策略和雙臂機(jī)械手的swap策略為基礎(chǔ),都屬于周期靜態(tài)調(diào)度方法,其研究假設(shè)集束型裝備只生產(chǎn)一種產(chǎn)品類型,而沒有考慮在實(shí)際生產(chǎn)中越來越常見的多類型小批量的混流生產(chǎn)模式,即多種類型晶圓混合加工�；炝魃a(chǎn)模式更加復(fù)雜,要同時(shí)考慮不同工藝路線的晶圓在系統(tǒng)內(nèi)的加工作業(yè)調(diào)度和機(jī)械手搬運(yùn)作業(yè)調(diào)度。囚此,在借鑒經(jīng)典生產(chǎn)統(tǒng)混流調(diào)度的相關(guān)理論和方法基礎(chǔ)上,構(gòu)建和提出關(guān)于集束型裝備混流調(diào)度模型和方法,將是未來值得研究的問題。應(yīng)急調(diào)度方法用于解決不確定環(huán)境下的動(dòng)態(tài)調(diào)度問題,但目前仍缺乏對(duì)不確定環(huán)境下集束型裝備動(dòng)態(tài)調(diào)度問題進(jìn)行全面深入研究,特別是關(guān)于臨時(shí)加工晶圓、加工模塊和物料搬運(yùn)機(jī)械手發(fā)生故障等干擾發(fā)生時(shí)動(dòng)態(tài)調(diào)度方法的研究,將是今后的重要研究方向。