把一組w盯cr的數(shù)據(jù)按wafer,用成行、列的wafer map表示出來(lái),這種方法就是wafermap gallery。 TC4S66F利用wafer map的顏色可以直觀地表現(xiàn)所描述屬性的大小、類別。透過(guò)wafcrmap ga11ery可以快速定位異常wafer以及了解所觀測(cè)屬性在wafer上的主要簾問(wèn)分布特征。

   Stack map(∞mposite map)是把wafer map進(jìn)行疊圖,在疊圖之后.一些較弱、較不明顯的空問(wèn)分布特征往往得到強(qiáng)化。

   圖17.29左圖是一個(gè)lot的binmap gallery,由此很容易發(fā)現(xiàn)艸9有明顯的異常。當(dāng)對(duì) binmap進(jìn)行疊圖之后,可以非常清晰地看到這個(gè)lot有明顯的reticle需要對(duì)mask及l(fā)itho的相關(guān)I藝進(jìn)行檢查,查找問(wèn)題根源。如果只對(duì)者single wafer進(jìn)行檢奄,很難發(fā)現(xiàn)類似問(wèn)題。