Beams2000型EMMI機臺,擁有CDD和MCT雙探頭復(fù)合模式和熱紅外模式EMM1平臺
發(fā)布時間:2017/11/14 20:42:39 訪問次數(shù):1281
微光探頭是PEM系統(tǒng)核`b部件,是系統(tǒng)PI74FCT163244A探測靈敏度的決定因素。在深亞微米技術(shù)領(lǐng)域,隨著設(shè)計規(guī)則(design rule)及工作電壓(supply voltagc)的逐漸減小,微弱或小尺寸的缺陷亦能引起器件失效,使失效定位面臨越來越大的挑戰(zhàn)。PEM系統(tǒng)的探測靈敏度成為成功定位的關(guān)鍵參數(shù)。遺憾的是,到目前為止,還沒有效的定量評估PEM系統(tǒng)探測靈敏度的方法。
PEM探測靈敏度取決于波長、微光探頭靈敏度、光學(xué)系統(tǒng)的精準(zhǔn)度及噪聲(常指系統(tǒng)本身固有的寄生熱噪音)等。圖14,7為二種代表性商用微光探頭:CCD、MCT和InGaAs探頭量子效率同波長關(guān)系圖。
微光探頭是PEM系統(tǒng)核`b部件,是系統(tǒng)PI74FCT163244A探測靈敏度的決定因素。在深亞微米技術(shù)領(lǐng)域,隨著設(shè)計規(guī)則(design rule)及工作電壓(supply voltagc)的逐漸減小,微弱或小尺寸的缺陷亦能引起器件失效,使失效定位面臨越來越大的挑戰(zhàn)。PEM系統(tǒng)的探測靈敏度成為成功定位的關(guān)鍵參數(shù)。遺憾的是,到目前為止,還沒有效的定量評估PEM系統(tǒng)探測靈敏度的方法。
PEM探測靈敏度取決于波長、微光探頭靈敏度、光學(xué)系統(tǒng)的精準(zhǔn)度及噪聲(常指系統(tǒng)本身固有的寄生熱噪音)等。圖14,7為二種代表性商用微光探頭:CCD、MCT和InGaAs探頭量子效率同波長關(guān)系圖。
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