劑量測(cè)試系統(tǒng)

   所謂劑量測(cè)試系統(tǒng),M24C02-RDW6TP指的是電離總劑量輻照試驗(yàn)過(guò)程中對(duì)輻照劑量率和輻照總劑量進(jìn)行測(cè)量的裝置和方法。劑量測(cè)試系統(tǒng)的準(zhǔn)確性和有效性是電離總劑量輻照試驗(yàn)的基礎(chǔ)。理論上來(lái)說(shuō),受輻射物質(zhì)中所引起的效應(yīng)與吸收的輻射劑量,如電離、發(fā)熱、發(fā)光等各種物理變化、氧化還原、裂解、聚合等許多化學(xué)變化或由此引的物理性質(zhì)的變化,都可以作為輻射劑量測(cè)量的依據(jù)。目前主要的吸收劑量的測(cè)量方法有量熱法、電離室法、化學(xué)法等。量熱法是一種直接測(cè)定吸收劑量的絕對(duì)方法。其基本原理是,被輻照的物質(zhì)所吸收的輻射能量全部用來(lái)使被輻照物質(zhì)的溫度升高,這樣就可以通過(guò)測(cè)量被輻照物質(zhì)溫度的變化來(lái)確定所吸收的劑量。熱釋光劑量計(jì)就是采用量熱法的一種劑量計(jì),其材料為C盱2。

   電離室是由處于不同電位的電極和限定在電極之問(wèn)的氣體(一般為空氣)組成,通過(guò)收集囚輻射在氣體中產(chǎn)生的電子或離于運(yùn)動(dòng)而產(chǎn)生的電信號(hào)來(lái)定量測(cè)量電離輻射的探測(cè)器。圖3-8所示為電離室劑量?jī)x實(shí)物。

   圖3-8 電離室劑量?jī)x(米源于PTW網(wǎng)站)

   化學(xué)法足利用輻射在體系中引起的化學(xué)變化與體系吸收的輻射能量之問(wèn)的定量關(guān)系來(lái)測(cè)定吸收劑量的方法,如硫酸亞鐵劑量計(jì)。硫酸亞鐵劑量計(jì)叉名F"cke齊刂量計(jì),它是一種使用廣泛、精度高、穩(wěn)定性好的一種化學(xué)劑量計(jì)。

   正如前面所述,凡是提到吸收劑量,就必須指明是何種物質(zhì)的吸收劑量。囚此,用劑量計(jì)測(cè)得的劑量只代表該劑量計(jì)的吸收劑量。例如,F1ˉit・ke劑量汁測(cè)得的吸收劑量是硫酸亞鐵的吸收劑量;空氣電離室測(cè)得的吸收劑量是空氣的吸收劑量;熱釋光(C盱2)劑量計(jì)測(cè)得的吸收劑量是CaF2的吸收劑量。對(duì)半導(dǎo)體器件來(lái)說(shuō),吸收劑量通常是以Si吸收的劑量來(lái)表征,因此,進(jìn)行試驗(yàn)時(shí),均需將上述劑量計(jì)測(cè)得的吸收劑量轉(zhuǎn)化為Si的吸收劑量。