用黏性鋁箔條制成遮板,以防護特殊區(qū)域不被刻蝕。

    將器件安裝在銅或鋁板上,將其放入鋁制的稱量皿中,置于溫度約90℃的加熱盤上,D10040250GTH等待幾分鐘(視器件的熱容量不同而有差異)以使包封層的溫度上升到接近㈨℃。

   將少量的發(fā)煙硝酸倒入燒杯,用點滴器滴幾滴(視器件的尺寸不同而有差異)發(fā)煙硝酸到器件上。

   清洗:用冷硝酸漂洗幾分鐘,再用丙酮噴霧清洗,然后用異丙醇噴霧清洗或用甲醇進行超聲清洗。然后用干燥的空氣吹干。

   重復(fù)步驟iii~v,直至暴露出芯片。

   如果必要,再在10∶l的0a與CF4的混合氣體中進行等離子清洗(50W,30~60∏Ⅱn)。

   手工濕法刻蝕工作應(yīng)注意:

    多數(shù)塑封材料可使用發(fā)煙硝酸,對酐類環(huán)氧樹脂可使用硫酸作溶媒。

   采用發(fā)煙硝酸時應(yīng)注意工作溫度。室溫下發(fā)煙硝酸對塑料幾乎不起作用。與酸反應(yīng)時,應(yīng)保證器件溫度較高,使暴露時間可以較短,以利于提高刻蝕質(zhì)量。當(dāng)溫度升高到接近10O℃時,只需幾分鐘,便可完成開封工作。更高的溫度是不必要的,因為其僅會使硝酸分解,揮發(fā)出No2并吸收水分而變?yōu)辄S色稀硝酸。稀(黃)硝酸能與器件中的金屬反應(yīng),這是應(yīng)當(dāng)防止的。

   采用硫酸時,硫酸必須加熱至約150℃。

   漂洗時應(yīng)使用去離子水。

   本操作應(yīng)充分注意安全。