掃描芯片上所有其余的同一類型鈍化層臺階
發(fā)布時間:2019/5/23 20:55:56 訪問次數(shù):1419
不應拒收的橫截面積。如果下GAL16V8D-15LJ述兩個條件同時滿足,即使特定方向邊剖面上金屬化層橫截面小于50%[在滿足上述(1)~(3)的情況下為30%],也不應拒收。
①條件1:若能確認,缺少金屬層的方向邊剖面并不在主載流方向邊上�？赏ㄟ^下述方法做出這種確認:掃描芯片上所有其余的同一類型鈍化層臺階,或查閱由承制方提供的表示金屬互連關系的拓撲圖。
②條件⒉只是確定單個晶圓的接收與否。
不應拒收的未被金屬化層覆蓋的方向邊。鈍化層臺階接收的條件如下:所有方向邊都應覆蓋有金屬化層并滿足上文中的接收條件。即使出現(xiàn)有某一方向邊剖面上未覆蓋有金屬化層的情況,如果下述兩個條件均得到滿足,則不應拒收。
①條件1:若能確認,缺少金屬層的方向邊剖面并不在主載流方向邊上�？赏ㄟ^下述方法做出這種確認;掃描芯片上所有其余的同一類型鈍化層臺階,或是查閱由承制方提供的表示金屬互連關系的拓撲圖。
②條件2:代表該批的取樣晶圓上,沒有一個其他樣品在主要載流方向邊上存在缺少金屬層的方向邊剖面。
不應拒收的橫截面積。如果下GAL16V8D-15LJ述兩個條件同時滿足,即使特定方向邊剖面上金屬化層橫截面小于50%[在滿足上述(1)~(3)的情況下為30%],也不應拒收。
①條件1:若能確認,缺少金屬層的方向邊剖面并不在主載流方向邊上�？赏ㄟ^下述方法做出這種確認:掃描芯片上所有其余的同一類型鈍化層臺階,或查閱由承制方提供的表示金屬互連關系的拓撲圖。
②條件⒉只是確定單個晶圓的接收與否。
不應拒收的未被金屬化層覆蓋的方向邊。鈍化層臺階接收的條件如下:所有方向邊都應覆蓋有金屬化層并滿足上文中的接收條件。即使出現(xiàn)有某一方向邊剖面上未覆蓋有金屬化層的情況,如果下述兩個條件均得到滿足,則不應拒收。
①條件1:若能確認,缺少金屬層的方向邊剖面并不在主載流方向邊上�？赏ㄟ^下述方法做出這種確認;掃描芯片上所有其余的同一類型鈍化層臺階,或是查閱由承制方提供的表示金屬互連關系的拓撲圖。
②條件2:代表該批的取樣晶圓上,沒有一個其他樣品在主要載流方向邊上存在缺少金屬層的方向邊剖面。
相關技術資料- 5-24玻璃鈍化層完整性檢查技術的發(fā)展趨勢
- 5-23掃描芯片上所有其余的同一類型鈍化層臺階
- 4-6什么是黑絕緣,什么是黃絕緣?
- 8-23焊接
- 8-18電位器的結構及工作原理
- 11-17在Input文件夾下生成一個Build文件夾
- 9-7TCP的有限狀態(tài)機
- 7-23級聯(lián)式恒流源及其面對市電變動時的穩(wěn)定度
熱門點擊
- 標準GJB548中方法⒛01規(guī)定的恒加速度試
- 聲掃的三種主要掃描模式
- 熒光化學傳感器是近年來迅速發(fā)展起來的
- 接觸件的插入力和分離力
- 恒加速度試驗標準
- 目前單粒子效應的研究手段為地面輻照源模擬
- 斷裂強度與斷裂伸長率是考核材料機械性能的重要
- 試驗樣品前端或向前朝向離心機旋轉(zhuǎn)軸
- 滅弧裝置
- 較高級性能試驗
推薦技術資料
- 泰克新發(fā)布的DSA830
- 泰克新發(fā)布的DSA8300在一臺儀器中同時實現(xiàn)時域和頻域分析，DS... [詳細]
公網(wǎng)安備44030402000607
