如果任何幾種缺陷(見圖4-141)的共同作用或由于金屬化層的變薄使主載流方向橫截面上金屬條橫截面的面積減少了50%以上,該鈍化層臺階上的金屬化層不應(yīng)接收。當下述

   (l)~(3)條件得到滿足時,可接收判據(jù)為不小于30%。與主載電流方向不垂直的鈍化層臺階處金屬層應(yīng)將其投影到與主載流方向垂直的橫截面上,GAL16V8D-10LJ 并由此計算出橫截面積的減少。在看不到能明顯表示有效覆蓋的棱邊、平緩過渡或斜坡的情況下,應(yīng)通過物理橫截剖面方法或采用測試結(jié)構(gòu)驗證臺階覆蓋百分比。對幾何尺寸不大于15um的金屬條,只有通過物理橫截剖面或測試結(jié)構(gòu)確定的鈍化層臺階覆蓋結(jié)果才是可信的:

    鈍化層合階卜金屬層的截面(放大)

    在臺階上由于缺陷和變薄的綜合作用,使金屬化層的截面積減少為不到水平表面上淀積的金屬化層截面積的50%,應(yīng)拒收。

    圖⒋141 作為接收/拒收準則的金屬化層截面積變小的情況a

   (1)電流密度。計算的電流密度應(yīng)小于2×105刀c′。

   (2)接觸尺寸。任一邊的接觸尺寸或直徑應(yīng)不大于3um。

   (3)金屬化層覆蓋。接觸窗口四邊或圓形接觸孔周長被金屬化層覆蓋的部分不應(yīng)小于75%(除非設(shè)計要求)。

   (4)不應(yīng)拒收的橫截面積。如果下述兩個條件同時滿足,即使特定方向邊剖面上金屬化層橫截面小于50%[在滿足上述(1)~(3)的情況下為30%],也不應(yīng)拒收。