如果在玻璃鈍化層區(qū)域(例如,鍵合區(qū)、芯片邊沿、劃片線等)邊沿之外的任何地方出現(xiàn)鋁層腐蝕的情況(見圖4-147~圖4-153),該批器件就應(yīng)拒收。 GAL16V8D-10LJNI 這一判據(jù)只適用于電流密度的計(jì)算值超過2×105A/cm2的那些鋁互連線。除非整個(gè)鋁條被完全切斷,否則圖4-149~圖4-152所示的C類和D類缺陷不得判為拒收。鋁的腐蝕可通過與被玻璃鈍化層覆蓋的鋁區(qū)域相比出現(xiàn)的透射形貌或反射特性的變化來判斷。應(yīng)記錄失效情況,記錄內(nèi)容包括被試器件數(shù)(如不是一個(gè)器件),以及與不同失效類別相對(duì)應(yīng)的失效數(shù)。