兩者都是以光波波長為標準對被測長度進行精密度量的儀器，區(qū)別如下：

   (1)單頻激光干涉儀中，ICB2FL02G可動的M2鏡移動時引起兩臂相位差改變，直接檢測的是兩臂光束干涉條紋強度和對比度的變動，屬于相位檢測系統(tǒng)；

  雙頻測長儀中，M2鏡移動引起多普勒頻移，直接檢測的是測量信號與參考信號的頻率差，所以，屬于頻率調制檢測系統(tǒng)。

   (2)當M2鏡不動時，前者的干涉信號是介于最亮與最暗之間的直流信號，而后者的干涉信號是頻率為f2 - fi的交流信號；當M2鏡移動時，前者的干涉信號是在最亮與最暗之間緩慢變化，而后者是使原來的交流信號頻率增減Af，仍然是交流信號。后者可用高放大倍數(shù)的交流放大器增強較弱的干涉信號，克服由于光強衰減、大氣擾動及電子線路直流漂移等因素對測量精度的影響。目前，雙頻測長的精度已超過0. Olym，是工業(yè)測長中較精密的儀器。

   (3)單頻干涉儀對裝置的機械振動十分敏感，因此對工作臺穩(wěn)定性有嚴格要求。振動越強，干涉條紋的來回移動越激烈，計數(shù)時必須相應地進行加減；雙頻測長儀的干涉條紋是運動的，按時間順序入射到光檢測器上，因而對振動不敏感，防振要求不嚴，可以用于計量室之外的車間工作環(huán)境等。