從圖6 -35(b)中可以看出，斜射式BAS40 E6327入射光的光點(diǎn)照射在被測(cè)面的不同點(diǎn)上，無(wú)法知道被測(cè)面中某點(diǎn)的位移情況，而直射式卻可以。因此，當(dāng)被測(cè)面的法線無(wú)法確定或被測(cè)面面形復(fù)雜時(shí)，只能采用直射式結(jié)構(gòu)。

   在上述的三角法測(cè)量原理中，要計(jì)算被測(cè)面的位移量，需要知道距離o，而在實(shí)際應(yīng)用中，一般很難知道口的具體值，或者知道其值，但準(zhǔn)確度不高，影響系統(tǒng)的測(cè)試準(zhǔn)確度。實(shí)際應(yīng)用中可以采用另一種表述方式，如圖6 - 36所示，有下列關(guān)系：z式中，6為激光器光軸與接收透鏡光軸之間的距離鏡焦距；髫’為接收光點(diǎn)到透鏡光軸的距離。其中6和廠’均已知，只要測(cè)出省’的值就可以求出距離石。另外，高準(zhǔn)確度地標(biāo)定6和值，就可以保證一定的測(cè)試不確定度。

   激光三角法測(cè)量技術(shù)的測(cè)量準(zhǔn)確度受傳感器自身因素和外部因素的影響。傳感器自身影響因素主要包括光學(xué)系統(tǒng)的像差、光點(diǎn)大小和形狀、檢測(cè)器固有的位置檢測(cè)不確定度和分辨力、檢測(cè)器暗電流和外界雜散光的影響、檢測(cè)器檢測(cè)電路的測(cè)量

   準(zhǔn)確度和噪聲、電路和光學(xué)系統(tǒng)的溫度漂移等。測(cè)量準(zhǔn)確度的外部影響因素主要有被測(cè)表面傾斜、被測(cè)表面光澤和粗糙度、被測(cè)表面顏色等。這幾種外部因素一般無(wú)法定量計(jì)算，而且不同的傳感器在實(shí)際使用時(shí)會(huì)表現(xiàn)出不同的性質(zhì)，因此在使用之前必須通過(guò)實(shí)驗(yàn)對(duì)這些因素進(jìn)行標(biāo)定。

   根據(jù)三角法原理制成的儀器被稱為激光三角位移傳感器。一般采用半導(dǎo)體激光器( LD)做光源，功率在SmW左右，光電檢測(cè)器采月PSD或CCD。商品化的三角位移傳感器比較常見的有日本Keyence公司斜射式的LD系列、直射式的LC系列和LB系列；Renishaw公司的OP2型；美國(guó)Medar公司的2101型等。表6-2列出了常用激光三角位移傳感器的主要技術(shù)指標(biāo)。