手動裝載晶圓
發(fā)布時間:2015/10/29 20:26:38 訪問次數(shù):844
手動裝載晶圓：OPA277U晶圓被放在聚四氟乙烯( Teflon)或其派生物制成的承載器[也稱“舟”(bc，at)或“片架”(c：assette)]中進行清洗步驟，然后被轉(zhuǎn)移到石英或碳化硅的承載器中進行反應爐反應。
對于這些傳遞較小晶圓的操作是用真空吸筆或有限度加緊的鑷子（見圖7. 29）。盡管通常避免使用鑷子，還是有為大直徑晶圓設計的鑷子。真空吸筆連著真空氣源，從晶圓背面吸取晶圓。這樣設計可以將對敏感的晶圓正面的損傷和污染減到最�。蟛糠謧鬟f晶圓的機械手沿著圓周抓取不同的點，取決于晶圓的直徑和鶯量。
手動裝載晶圓：OPA277U晶圓被放在聚四氟乙烯( Teflon)或其派生物制成的承載器[也稱“舟”(bc，at)或“片架”(c：assette)]中進行清洗步驟，然后被轉(zhuǎn)移到石英或碳化硅的承載器中進行反應爐反應。
對于這些傳遞較小晶圓的操作是用真空吸筆或有限度加緊的鑷子（見圖7. 29）。盡管通常避免使用鑷子，還是有為大直徑晶圓設計的鑷子。真空吸筆連著真空氣源，從晶圓背面吸取晶圓。這樣設計可以將對敏感的晶圓正面的損傷和污染減到最�。蟛糠謧鬟f晶圓的機械手沿著圓周抓取不同的點，取決于晶圓的直徑和鶯量。
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