用觸針式輪廓儀和同軸式高分辨率激光干涉輪廓儀
發(fā)布時(shí)間:2016/2/17 21:05:48 訪問次數(shù):710
用觸針式輪廓儀和同軸式高分辨率激光干涉輪廓儀，在相同的掃描速度下測(cè)量前述的標(biāo)準(zhǔn)校對(duì)樣塊。 AAT3515IGV-4.38-C-T1測(cè)量結(jié)果如圖11.19所示，其中11.19 (a)所示是激光輪廓儀所測(cè)結(jié)果，11.19 (b)所示是Taly-6觸針式輪廓儀所測(cè)結(jié)果，很明顯，激光輪廓儀的測(cè)量形狀誤差更小，且測(cè)量結(jié)果細(xì)節(jié)更清楚。
圖11.19激光干涉輪廓儀與Taly-6觸針式輪廓儀的測(cè)試結(jié)果比較
本測(cè)量系統(tǒng)也可通過掃描方式形成三維地形圖，圖11.20所示為本系統(tǒng)的三維測(cè)量圖。圖11.21所示為本輪廓儀采用軟件濾波后的測(cè)量結(jié)果，軟件濾波后橫向分辨率會(huì)降低。
圖11.20三維測(cè)量圖
用觸針式輪廓儀和同軸式高分辨率激光干涉輪廓儀，在相同的掃描速度下測(cè)量前述的標(biāo)準(zhǔn)校對(duì)樣塊。 AAT3515IGV-4.38-C-T1測(cè)量結(jié)果如圖11.19所示，其中11.19 (a)所示是激光輪廓儀所測(cè)結(jié)果，11.19 (b)所示是Taly-6觸針式輪廓儀所測(cè)結(jié)果，很明顯，激光輪廓儀的測(cè)量形狀誤差更小，且測(cè)量結(jié)果細(xì)節(jié)更清楚。
圖11.19激光干涉輪廓儀與Taly-6觸針式輪廓儀的測(cè)試結(jié)果比較
本測(cè)量系統(tǒng)也可通過掃描方式形成三維地形圖，圖11.20所示為本系統(tǒng)的三維測(cè)量圖。圖11.21所示為本輪廓儀采用軟件濾波后的測(cè)量結(jié)果，軟件濾波后橫向分辨率會(huì)降低。
圖11.20三維測(cè)量圖
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相關(guān)技術(shù)資料- 9-3面板
- 8-30倒裝焊
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