電遷移效應(yīng)的影響因素
發(fā)布時(shí)間:2016/6/20 21:27:17 訪問(wèn)次數(shù):1633
布線幾何形狀的影響。從統(tǒng)計(jì)觀HBB152-A點(diǎn)看,金屬條是由許多含有結(jié)構(gòu)缺陷的體積元串接而成的,則薄膜的壽命將由結(jié)構(gòu)缺陷最嚴(yán)重的體積元決定。若單位長(zhǎng)度的缺陷數(shù)目是常數(shù),隨著膜長(zhǎng)的增加,總?cè)毕輸?shù)也增加。所以膜條越長(zhǎng)壽命越短,壽命隨布線長(zhǎng)度而呈指數(shù)函數(shù)縮短,在某值趨近恒定。
同樣,當(dāng)線寬比材料晶粒直徑大時(shí),線寬越大,引起橫向斷條的空洞形成時(shí)間越長(zhǎng),壽命越長(zhǎng)。當(dāng)線寬降到與金屬晶粒直徑相近或以下時(shí),斷面為一單個(gè)晶粒,金屬粒子沿晶粒界面擴(kuò)散減少,隨著條寬變窄,壽命也會(huì)延長(zhǎng)。
電流恒定時(shí)線寬增加,電流密度降低,本身電阻及發(fā)熱量降低,電遷移效應(yīng)就不顯著。如果線條橫截面積確定,在條件允許的情況下,增加線寬比增加厚度效果更好。
在臺(tái)階處,由于布線形成過(guò)程中臺(tái)階覆蓋性不好,厚度降低,電流密度增加,易產(chǎn)生失效。
布線幾何形狀的影響。從統(tǒng)計(jì)觀HBB152-A點(diǎn)看,金屬條是由許多含有結(jié)構(gòu)缺陷的體積元串接而成的,則薄膜的壽命將由結(jié)構(gòu)缺陷最嚴(yán)重的體積元決定。若單位長(zhǎng)度的缺陷數(shù)目是常數(shù),隨著膜長(zhǎng)的增加,總?cè)毕輸?shù)也增加。所以膜條越長(zhǎng)壽命越短,壽命隨布線長(zhǎng)度而呈指數(shù)函數(shù)縮短,在某值趨近恒定。
同樣,當(dāng)線寬比材料晶粒直徑大時(shí),線寬越大,引起橫向斷條的空洞形成時(shí)間越長(zhǎng),壽命越長(zhǎng)。當(dāng)線寬降到與金屬晶粒直徑相近或以下時(shí),斷面為一單個(gè)晶粒,金屬粒子沿晶粒界面擴(kuò)散減少,隨著條寬變窄,壽命也會(huì)延長(zhǎng)。
電流恒定時(shí)線寬增加,電流密度降低,本身電阻及發(fā)熱量降低,電遷移效應(yīng)就不顯著。如果線條橫截面積確定,在條件允許的情況下,增加線寬比增加厚度效果更好。
在臺(tái)階處,由于布線形成過(guò)程中臺(tái)階覆蓋性不好,厚度降低,電流密度增加,易產(chǎn)生失效。
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