熱效應(yīng)。金屬膜HBB5-3/OVP-A的溫度及溫度梯度(兩端的冷端效應(yīng))對電遷移壽命的影響極大。當J106A/cm2時焦耳熱不可忽略,膜溫與環(huán)境溫度不能視為相同,特別當金屬條電阻率較大時影響更明顯。條中載流子不僅受晶格散射,還受晶界和表面散射,其實際電阻率高于該材料體電阻率,使膜溫隨電流密度增加更快。

   晶粒大小。實際的鋁布線是一多晶結(jié)構(gòu),鋁離子可通過晶間、晶界及表面3種方式擴散。在多晶膜中晶界多,晶界的缺陷也多,激活能小,所以主要通過晶界擴散而發(fā)生電遷移。在一些晶粒的交界處,由于金屬離子的散度不為零,會出現(xiàn)凈質(zhì)量的堆積和虧損。進來的金屬離子多于出去的,晶粒由小變大形成小丘,反之則出現(xiàn)空洞。特別在整個晶粒占據(jù)整個條寬時,更易出現(xiàn)斷條,所以膜中晶粒尺寸宜均勻。